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纳米材料和器件的TEM及SPM研究
张跃1，2*
北京科技大学1.新金属材料国家重点实验室，材料科学与工程学院，
2.新能源材料与技术重点实验室北京100083
氧化锌纳米材料由于其独特的半导体和压电光 电二极管、压电传感器、发光二极管、紫外探测器等
电特性，已经成为压电光电器件应用领域最具前途 进行研究。图1为利用SPM对ZnO纳米材料的力
的材料。目前，在氧化锌纳米发电机、场效应晶体 电效应进行测试的结果。同时，由于纳米材料的损
管、二极管、紫外探测器等方面已经取得了许多重要 伤和失效是直接影响纳米机电系统应用的关键，因
的研究进展。本文主要介绍通过SEM、TEM、SPM 此，近年来，我们利用上述各种表征技术对氧化锌纳
等多种微观测试技术研究纳尺度下氧化锌纳米材料 米材料的安全服役问题开展了一系列的研究工作。
的结构及多场耦合性能包括力电、光电等性能，并对
构建的多种纳米原型器件如压电场效应晶体管、压
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