微型单片集成晶体硅太阳电池地研究.pdfVIP

微型单片集成晶体硅太阳电池的研究 于化从1 杨 宏2 王 鹤2 崔容强1 周之斌1 孟凡英1 赵占霞1 赵百J 1．上海交通大学物理系太阳能研究所2．西安交通大学理学院 摘要：本文报遵了用微型单片集成晶体硅太阳电池为MEMS供电的研究结果。研究发现：采 用高效太阳电池将光能转换为电能，为MEMS供电是一种切实可行的方案，可在同一块单晶 硅村底上采用与MEMS相兼容的工艺技术，实现太阳电池的分割隔离及五连接达到MEMS 系统所需电压的目的。 关键词：微犁硅太阳电池 串联集成MEMS Abstract：This theresultsabout silicon paper single crystalline reports using chipintegrated solarceilsasa ofMEMSItis that power found supply usingsinglechipintegrated silicon of is solarcellsasfl MEMS of crystalline possible，theisolating powersupply process and is withthe ofMEMS． interconnecting compatibleprocess solarcelltandem MEMS Keywords：micro--siliconintegrating 在单次工艺实践中，采用了现有的各种电学隔离方 1引言 案，发现有的隔离工艺虽电学隔离性能好，但串联集 成太阳电池的窗口有效面积太少，造成串联集成太 科学家们在太阳电池实际应用中一直渴望输出 阳电池的转换效率上不去；有的隔离工艺虽能得到 电压超过700mV的太阳电池，基于晶体硅材料特 大的窗口有效面积，但电学隔离性能不好，造成单元 性的这个极限限制了单体电池的输出电压。特别在 太阳电池之间输出互有影响。经过大量的单次工艺 8L Electronic 微型电子机械系统(MEMS——Micro 实践，我们设计了一种新的隔离工艺。单次工艺实 Mechanical System)这一关键的微纳电子技术领践证明：这种隔离方法既能达到良好的电学隔离，又 域，体积小、输出电压高的高效太阳电池适合作光电 能得到大的窗口有效面积。 隔离或驱动电源用。 2．2 T艺流程 随着MEMS技术的发展，特别是生物医学芯片 下图1为本设计的工艺流程图。 技术的成熟，通过半导体工艺实现元器件的隔离和 2．3工艺说明 互联技术集成微小单晶硅太阳电池，采用集成型微 (1)P—Si衬底一次氧化。采用开管水汽氧化， 小单晶硅太阳电池解决其电源供电具有十分重要的