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扫描探针加工技术的新进展及扫描
等离子体加工技术的研究
王 海! 褚家如!赵 钢
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系! 安徽 合肥 ##
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摘要!扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量
级等优点!近年来受到广泛的重视和研究%但目前扫描探针加工技术存在加工效率低可重复性
差可加工材料非常有限等缺点%采用探针阵列并结合其他加工技术的并行工艺!可以提高加工效
率!拓展应用范围%本文以纳米喷流加工和蘸水笔纳米加工为例介绍了扫描探针加工技术这一方
面的最新进展!阐述了它们各自的基本原理和特点%最后!提出了一种基于并行探针驱动的扫描等
离子体加工技术!结合了扫描探针加工精度高和等离子体加工适用材料广泛的优点!为小批量多品
种微系统和纳米器件的加工探索出一种新方法%
关键词!扫描探针加工’扫描等离子体加工’蘸水笔纳米加工’纳米喷流加工
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $
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