数字输出型多功能传感器的研究.pdfVIP

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2017-08-16 发布于安徽
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数字输出型多功能传感器的研究.pdf

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! !!!!!!!!!!!! 压力及其他传感器 ! !!!!!!!!!!!! !!# 数字输出型多功能传感器研究 ! ! 7 ! ! 陈伟平 !田丽 !田雷 !李明江 !孙立宁 # # 哈尔滨工业大学!黑龙江哈尔滨 # !c !8! 中国电子科技集团公司第四十九研究所!黑龙江哈尔滨 $ 7c !8! % %’()*’-’Q 1 C‘.3+’ ! / 摘要!基于混合集成技术!设计并制作了具有标准接口输出的压力温度多功能传感器 =477 该传感器由压力温度复合敏感单元’ ( 转换及前置放大’ ( 转换’可编程接口单元等 = W ; X =477 构成此外开发了传感器的数据采集与处理软件!通过软件对原传感器的误差进行软补偿!传感器的测量综合精度有所提高!在室温至的测量范围内零位温漂由 ( 降至 ( #p B.Bd p .7d p 关键词!多功能传感器#压力传感器#=477 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ @V7!7c! ; !C$!B$$C7 $#B7C # # %175 (8-7+1087’,10(’/*’/(345(71 ! 7 ! ! ! ! ! ! 9P%5 J-)), @D;5 b) @D;5 b-) bD?), )(, 4K5 b),), / I Ih I I ! ! # ! ! ! $ !CU%A-*)*+,-,’,. F.0;*1 U%A-*!8! :;-* 7CF;.B‘,;N.+.%0;)*+,-,’,. :F: U%A-*!8! :;-* / 47 % 2/134,1 ; :-QQ1:-R-’ -:(R1:-’1*R)O1,3R)+,Q-,Q+:U)RG=4773+’ 1R-3+’’1,)3(R)+,), / / /