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中国磁性产业跨越式可持续发展研讨会论文集 铁氧体基片的工艺控制研究 周平章秦勋胡乔谯劫 (中国西南应用磁学研究所 四川绵阳621000) 1．概述 电子系统向小型化、高性能化、多功能化发展已是目前的主要趋势，从而对系统的要求也越来越 高。而对基片的要求越来越广泛。 铁氧体浆料分为大气烧结和氮气烧结两个系统，随着表面组装技术的发展，其用量和品种正在不 断增加。这类浆料配方复杂，设计难度大，是很有发展前途的浆料。 现有电感介质浆料在应用中暴露了不少缺点，如占有的基片面积过大，磁导率难以提高、工艺难 以实现多层化等。 铁氧体浆料的成分都有含有一定比例的晶相，但晶相类型和对它的对它的性能要求各不相同。 铁氧体基片的工艺水平。国际：介质层数400层，介质膜厚3～5um，我国“十五”863的支持 下，已研制出自主知识产权，性能指标达到国际先进水平的贱金属电极多层铁氧体电感。元件介质层 数达300层，介质膜厚小于7um。 2．铁氧体基片的基本工艺和控制因素 介质浆料的制造工艺流程如图1所示： I中间体准备卜_—叫配方称量L—一球磨混合卜’l消泡}—叫测试卜一 包装l 匝亟卜岖互乎咂堕卜匝]+[三悃 。——————————————一————’’’’’’。’1…L—————————一L—————————一 图1工艺流程 3．1铁氧体粉料制各 配制铁氧体浆料的中间体包括经过预烧的铁氧体粉料和添加剂。这些粉料的组分已发生了充分的 化学反应。在铁氧体的制备中，必须保证每批粉料的质量：所有原材料必须具有严格的技术规范；每 批原材料必须具有制造厂的合格证书；必须制定严格的生产工艺并对工艺变量进行有效控制；原材料 和铁氧体必须通过规定的理化测试并保存样品以各查询．对进厂原材料按技术规范，测定各组分含量、 杂质等参数以后，就可用于配料。对不含水溶性原材料的配料混合物用球磨机湿磨，使其成为充分均 匀的混合物。经滤、干燥后用于制铁氧体。在配料中含有水溶性原材料时，应该用干磨法混料，但效 果比湿磨法略差。 3．2铁氧体晶粒尺寸的影响 粉料的粒度越细。其工艺性越好。给磨球予极大的离心力与切线加速度，使球．球与球．壁之间产 生大量的滚碾摩擦，故其碾磨粒度下限低。称为超细粉碎。 原料粒度对材料的组织结构和性能都有重要的影响；超细粉粒可以增加颗粒的接触面和反应几 中国磁性产业跨越式可持续发展研讨会论文集 u 率，提高浆料的可塑性和成型性；促进基板烧结均匀、致密。如铁氧体颗粒的粒径小于1 m，粉体 的表面能很高，料浆易于成膜。 只有粉料的粒度达到一定的细度时，加之后期的延磨的细化，可使粒度细小、圆润；才能使浆 料达到必要的流动性、可塑性，才能保证制成的胚体具有足够的光洁度、均匀性和必要的机械强度。 6 4 2 0 8 瓣曝 6 4 2 O ㈧‰h一二 吗p～p＼妒＼令＼9Q妒QpQ9Q9Q，Q9 粒度(uIll) 图2 LT-3型铁氯体额粒粒度分析 3．3分散效应 分散效应是指助磨剂在表面吸附之后，大大地减弱了粉料的相互作用，而避免结成团块的效应， 如羧基——cOOH是具有明显极性的，相互作用力提高了分散性，亦即强化了研磨效果。由于助磨 剂在粉粒表面的附着效果。润滑效应是指由于助磨剂在粉料表面的附着，使粉料之间的作用力下降， 摩擦力减小，流动性增加。因而有利于粗粒暴露而承受碾磨力的作用。避免粗粒包裹于细粒之中，使 研磨力缓冲、分散。劈裂效应是指助磨jf!I在粉料裂缝中附着后的效果．助磨剂又