溶胶--凝胶工艺制备有支撑体多孔r--Al-%2c2-O-%2c3-过渡膜的研究.pdfVIP

溶胶一凝胶工艺制备有支撑体多孔y—A1：03过渡膜研究’ 于云1，王晓萍2，何超1，周彩华1， 王振红1，陈新彪1，李明华1，胡行方1 (1．中国科学院上海硅酸盐研究所．上海200050；2摩托罗拉(中国)电子有限公司．北京100022；) 箱叠：拳文采用溶肢一疑腔技术，在多孔AbO，基 孔支撑体表面制备一层孔径较小的过渡腰。过渡膜 体上制备了一屡适合于潦曩超选与槭涟膜．々y．Al，0， 的涂覆能在很大程度上缩小分高膜与基伴之间的热 多孔过渡膜．通过XRD，FHR厦DTA—TO等测膨胀系数差异．它不仅防止了在分离层制备过程中 试手震研究了,pAl，O，凝胶膜在热处理过程中的抽理溶胺粒子渗入到基体而造成的大孔堵塞与薄膜的不 化学变化；通过sEM分析与地点軎研究了多孔虞的 均匀．而且还有利于分一层与基体之间更好的结合． 为制备完整的薄睫提供了条件a 搬观蛄构．实验蛄果表明：赛验中期番的T—A1203 蕨具有择优取向的特点；T—AkO，过渡戚的最可几 本文采用溶胶一凝胶法，以异丙醇铝为原料． 孔程为0．38pm左右，厚度为4{．un．膜表面平整、无在A120，多孔载体上制备一种可用于撩