基于等光强面的飞秒激光三维微加工分辨力的研究.pdfVIP

2003年中国机械工程学会年会 基于等光强面的飞秒激光三维微加工分辨力研究+ 蒋中伟 伸国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230026) 郭锐 袁大军 夏安东 黄文浩 (ee国科学院) 摘要：取光于微细加工系统的分辨能力直接影响三维器件成型的精度和质量。根据自由基类光聚台材料双光子 加工分辨力的理论分析，提出等光强面的概念，在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨力之间的关系-通 过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验．验证了等光强面和系统分辨力之问的对应关系，井分析7 出现微小差异的原因。在一定实验条件下．可以根据上述理论模型估计系统可实现的加工分辨，及优化加工工 艺参数。最后给出部分微器件的成型结果。 关键词：等光强面飞秒激光双光子激发三维微细加工固化单元 0前言 随着MEMS系统功能多样化、结构复杂化的发展，对与其相关的研究领域也提出了更高 的技术要求。相应地，微细加工技术作为其核心技术则要求具有高分辨、高柔性和任意三维加 工能力等特点。立体光成型(SLA)技术以其优异的特性在微细加工领域占有重要地位。但传统 的单光子激光成型技术存在加工分辨较低，加工结构易变形的缺点，一定程度上限制了该技术 的应用。20世纪90年代初期，飞秒钛宝石激光器的出现对立体光成型技术进一步发展起到了 很大的推动作用。以飞秒激光为激发源的双光子三维微细加工技术以亚微米级空间分辨力、任 意三维结构加工能力和热影响小等特点，在微结构f1—1、光子晶体【3】和功能器件【4】的加工中显现 出独特的技术优势。 由于飞秒激光脉冲经紧聚焦后，可以在很低的平均输出功率下实现GW／cm2乃至TW／c莳 量级的瞬时激发光强。应用飞秒光束诱导材料发生的双光子吸收就可在这种条件下强烈地发 生。经双光予激发后．处于激发态的分子体系又可引发一系列光化学反应；光致聚合、光致色 变和光致折变等等。双光子微细加工技术可利用双光子激发诱导的光致聚合反应实现器件的三 维成型。目前，自由基类光聚合材料在光成型领域占有十分重要的地位。针对这类材料，本文 对加工系统的分辨进行了理论分析，在此基础上，讨论了加工分辨力和激发光强之间的关系。 另一方面，应用Matlab分析了不同光强条件下等光强面的特点。结合双光子三维加工固化单 元的实验结果，进一步分析了激发光强和系统加工分辨的对应关系，讨论了等光强面与固化单 元出现微小差别的原因。最后，根据讨论结果优化扫描步距等加工工艺参数，并给出了部分三 维微器件加工的实验结果。 国家自然科学基金资助项目(N和863项tj(MEMS2003AA404-03) 微纳制造技术应用研讨会 233 1双光子微细加工分辨的理论分析 自由基类光聚合材料通常由光引发剂、聚合单体／f氏聚物和其它一些添加剂组成。自由基 聚合是链式聚合，聚合过程至少有三个基元反应组成：链引发、链增长和链终止反应口J。传统 的紫外光刻技术应用单光子激发原理使光引发剂断裂生成活性自由基，进而诱导材料发生聚合 反应。与其相比，双光子微细加工在工作机理上的区别主要在于对引发剂的激发方式：光引发 剂同时吸收两个光子而跃迁到激发态，相应的单光子吸收则会由于处于材料吸收光谱的截止区 变得十分微弱。当自由基产生后，聚合反应的情况将主要取决于自由基的浓度及分布、引发聚 合的效率等材料因素。假设在一定激发条件下，自由基的浓度按P=p(r，z，0的形式分布。当 某处的自由基浓度施过了材料所要求的聚合阈值pm时，该处的聚合反应就可以被引发。对于 特定的光敏感材料，无论是单光子激发还是双光子激发，自由基浓度阈值pm应该是相同的。 这样，就可以通过分析曝光点处自由基浓度的分布情况，结合材料的聚合阈值、收缩率等特性 来分析系统可实现的分辨力。在双光子微细加工过程中，可以通过控制入射激光的激发功率和 单点曝光时间实现对曝光点自由基浓度的控制。 自由基聚合材料的双光子引发速率Rr可表示为吼 R=谚盯‘2’，。【时】 其中盯(≈表示光敏材料的双光子吸收截面【cm4S]，由于现有材料仃