金属离子高温注入金属靶表面改性的研究.pdfVIP

第五届垒嚣表面工程学术会议论文集 金属离予高温注入金属靶表面改性研究 常．洚威胨游雷碉凯 大连理工大学材料工穗系表面工程研究室大连116024 室温到500℃注入轴靶，x射线衍射仪(xRD)和Rutherford Backscattering 导致耩棚辫戒，进嚣影璃注入辣子匏传震嚣隽，露浆入裁量瓣媾热导致建帮湿度舞嶷，显提供筵多豹遘糕空整挺进粒子 扩散t剃栩基于粒予与固体相驻作用理谗{!上及辐照增强扩散理论建立金鹅离子高温涟入金属靶传质模型，计算了AI离 子高温注入Fe靶的浓度一深度分布．计掉结果与囊验涮量结粜相符。 荚键镉；琏湛离子注入金霸簧痍穰爨MonteCarlo攘揆较照耀强扩散 【lm假寇注入粒子是唯一的扩散元綮，根据离子 萼l言 镪照增强扩散理论i12l，离子浇入对自扩散系数D(x) 为了克服常规离子注入射程短(小于l 的增强作用可以表示为： pro)、 改性层浅、改搜{#瘸存骥嬉缺点，胃鞋gl入鏊在 D‘(x)=D，C：十D，C，《x) (1) 增加注入粒子深度的离子注入一厝扩散退火工艺 Il，2 J。然佩，经后扩散处理后的离予注入改性表厩 式(1)中。C：是平衡空健浓度，C，(x)辖照产 有陵浓凌f晦整浓凄l毳予20at。。／o-30髓t钧瓣注入粒 子在较大扩散距离内发生均匀化，造成注入粒子 生的稳态缺陷浓度。D。是定位扩散系数，并且 浓度显祷降低，甚至导致改性作用的丧失。近年 D。磷=拶蹙热扩敖系数。Al在Fe审浆热扩数系 来，强流离子注入技术搿劐了迅速发展，籀斑的 高束流密度离子高温注入可有效增加离子的注入 s-l[1”，平衡空 数为D。*O。17exp(-2。26eV／kT)cm2 深度p“。由于离滠离子注入戆“注入+舞步扩散” 传质过程有别予常规离子注入，加之高温洼入工 艺参数实验测定的滞后性和测量误差，有必要明 确金属蒜子裹滠注入传葳辘裁，淡便更驽蟪攀握 u，分裂兔空经形袋演窝形藏能。＆豹空位形簸缡 k和1．4 这类离予注入的特性及戴有效地优化工芑条件 和形成能分别为1．2 eV。由成分归一化条 {牛C。。+c。。+C。=l可通过求解移动边界系统的 【9’…l。本文报道金属离子Al高温注入Fe靶的实验 秘理论轿究结采，旨在弄清金属离子高温液入金 注入粒予扩散方糕””和{#警裙空链扩散方程获得 属靶的传质机制。 注入粒予和空位的浓度一深度分布： l实验 鲁；却∞割+V等埔小㈣ 实验采用400kV离子注入机，纯度为99．99％ 金属缝糙为靶，试襻尺砖为15×15X3搬搬。金 属纯Fe试样采片|j金相砂纸打磨、抛光，用无水乙 鲁咀百。zC,v÷魄(x) (3) 醇清洗，烘干。 基予非矗靶骰设，离子注入表露溅鼓律溺造 基体相结章鼋爱证采霜D／max-2400墅X囊《线衍 成的表磷退让速度V为： k0，没入粒子的浓度一潦度分 射仪(XRD)分析(Cu