碳纳米管薄膜的制备和其场发射特性的研究.pdfVIP

碳纳米管薄膜的制备及其场发射特性的研究” 田时开，曾葆青，殷吉昊，扬中海 电子科技大学物理电子学院，四川 成都610054 摘要本文采用有机气体化学气相沉积法(CVD)，在硅基片上沉积了碳纳米管薄膜并进行了场发射特性研究。结果 表明．在电镀液中加入正硅酸乙醇作为催化剂载体可得到分布更均匀。管径更小的碳纳米管薄膜．且制备的碳纳米管薄膜与 硅基片的附着良好．其开启电场为8V／,um．最大发射电流密度为2InA／crn2。 关键词碳纳米管薄膜；正硅酸乙醅；化学气相沉积；场发射 中圈分类号：0462．4文献标识码：A 1引言 纯碳原子所形成的直径极细的纳米管所表现出来的独特的电学及力学性质引起了人们极大的关注[3．4]。 碳纳米管是由类似石墨六边形网格翻卷而成的管状物，管子两端一般也是由含五边形的半球面网格封 口。碳纳米管的直径只有几纳米到几十纳米，长度却可达几微米甚至更长，可被看成一种理想的一维材料。 碳纳米管具有极细的发射尖端，在相对比较低的电压下就可发射大量的电子，且还具有好的化学稳定性和优 良的机械强度，是一种优良的场致发射材料¨．6 J。用碳纳米管作发射阴极，可应用于场致发射平面显示器， 微波功率放大器和真空微三报管等电子器件，尤其在场发射平面显示器的应用已接近实际。场发射显示器 具有阴极射线管的高清晰显示图象，液晶显示器的薄度以及电致荧光显示器件的牢固性等优点，成为碳纳米 管应用领域研究的热点之一。韩国三星高科技研究所N．S．Lee等人用单壁碳纳米管同有机赋形剂混合通 过屏幕印刷技术制备出4．5英寸二极管结构的场发射显示器，阈值场强为12V以m，并进行了真空封装[7]。 预计在不久的将来。以碳纳米管为发射阴极的场发射平面显示器即可用于实际。 2实验方法 2．1碳纳米管薄膜的制备 做A、B两组实验作对比： 至室温，取出样品。用扫描电子显微镜(sEM)和透射电镜 图1碳纳米管薄膜场发射特性测试系统 (TEM)观察样品。 实验室基金资助项目．编号：51440040101dz02。 333 2．2碳纳米管薄膜的场发射 碳纳米管的场发射特性测试系统如图1所示，真空腔中真空量级可达10_5帕。阳极为可移动的金属 棒，直径为2mm。放置碳纳米管薄膜于阳极正下方，与阳极相距约120pm。加电压于阳极上，当电压加到 970V时，观察到有场发射电流出现。当电压由低到高继续上升时，可观察到场发射电流逐渐增大o 3结果与讨论 本实验表明：催化剂的粒径大小对碳纳米管的直径粗细起很大作用，一般来说，催化剂粒径越小，生成的 碳纳米管直径越细，但在电镀液中催化剂颗粒易团聚而形成较大颗粒。从而使碳纳米管直径变粗，而本文采 用正硅酸乙酯作为催化剂的载体，可起到很好的分散Ni颗粒的作用，防止Ni颗粒团聚。使生成的碳纳米管 直径变小。O．M．Kuttel等研究认为，由于有大量碳纳米管尖端从膜中突出而使该薄膜具有很好的场发射效 应【“，同时，碳纳米管薄膜制备相对较简单，且碳纳米管阵列与基底的附着性远不如碳纳米管薄膜与基底的 附着性好，因此，碳纳米管薄膜比碳纳米管阵列具有更好的实用性。图2是本文制备的碳纳米管薄膜的平面 (b)是电镀液中加入正硅酸乙酯沉积的碳纳米管薄膜，直径约50nm。可见加入正硅酸乙酯能显著减小碳纳 米管的管径。图3(a)是碳纳米管薄膜的剖面图，可看到有碳纳米管随机的从薄膜中突出，发射电流主要由 突出的碳纳米管发射。 (a) (b) 图2(a)A组实验催化沉积碳纳米管薄膜的SEM像 (b)S组实验催化沉积碳纳米管薄膜的SEM像 (a) (b) 图3(a)A组实验催化沉积碳纳米管薄膜的SEM像 (b)B组实验催化沉积碳纳米管薄膜的SEM像 N曲线，此曲线近似为一直线，可得出此