激光干涉准直技术地研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 %+ + %## , 激光干涉准直技术的研究 裴中方 林玉池 赵美蓉 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 ! ###$% 摘要 针对传统激光准直技术的缺陷 介绍了一种基于楔形光学玻璃板的激光干涉准直技术的工作原理 软硬件设计 软件细 ’ ( ( 分原理及其特点 给出了系统的主要技术指标 实现了系统的高精度 数字化和小型化 ’ ’ ( ) 关键词 激光准直 干涉 条纹 细分 直线度 *+,+-./0123-,+.425+.6+.+2/+789:2;+25 =?@ABCDEBC FBGHI@ ?@EAJ=KABC ! ’ ’ hiiijk’ LMNMOPOQRNSTUNMTUQTVWUOXYZYT[\ONZ]UO^O[M_OX‘[TaTbQN[cd[ZMU]^O[M _YN[eY[f[YgOUZYMQ _YN[eY[ l‘Y[N ’ 7m,5.-/5 nAKo@=p@AKoEC=ADo@=oKEqoABErrEp=KErCBs=Bo o@=tEt=KtK=p=BopErEp=KBo=KD=K=BI=ErCBs=Bo ’ ’ ’ uEp=qABv=uC=trEo= BIrHqBCo@=At=KEoBCtKBItr= o@=q=pCBADpADovEK=EBq@EKqvEK= o@=tKBItr=AD x x pADovEK=pHuqwpABEBqopI@EKEIo=KpoI y@=sEzAKtEKEs=o=KpADo@=p{po=s EK=Cw=B |osE}=po@=p{po=s ’ x sAK=tK=Ip= psErr=KEBqqCoErqptrE{ !1.#, FEp=KErCBs=Bo |Bo=KD=K=BI= $oKt= $HuqwpAB $oKEC@oB=pp ~+ 的激光束准直后 再经扩束镜 出射一束粗大的平行光 ’ ’ 引 言 束 投射到远处的接收靶上 此接收靶置于被测导轨的 % ’ ) 过桥基座上 它由楔形光学玻璃板和相应的硅光电池 ’ 激光准直技术在大型几何参数和形位误差测量应 用广泛 如大型工件的直线度 同轴度 平行度 平面度 ’ ( ( ( 等参数的测量 具有独特的优势 然而 环境因素 空气