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第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 ( - (’’( %’ !# 晶体生长与完整性研究 刘景和 王英伟 孙 晶 李建利 张 亮 长春光学精密机械学院 长春 $ %’’(() 摘要 用 法生长尺寸为 的高质量的 晶体 设计了合理的工艺参数 总结了影响 晶体完整性的因 (-.’ 3 3 *+ , // 012 012 素 发现晶体开裂有四种形式 横向层状似的断裂 纵向长裂纹 沿解理面 或 面开裂 无规则碎裂 通过结构分析认 4 5 6 6 $%’%) $’%%) 6 4 为 结构应力导致晶体的无规则碎裂 通过选用高纯原料 结构完整的籽晶等方法可减小结构应力 并认为晶体开裂的主要因 3 3 3 4 素是热应力而引起的 经过大量实验表明 热应力引起的开裂除了沿解理面方向外 还由于各方向上热膨胀系数不同 而表现 4 3 3 3 为横向层状的断裂 偏 轴方向生长 和纵向裂纹 偏 轴方向生长 的两种形式 可通过设计合理而稳定的温场 选择最佳工 $ * ) $ 7 ) 4 3 艺参数及退火处理等方法 减少热应力而引起的晶体开裂 3 4 关键词 晶体 法 结构应力 热应力 晶体开裂 012 *+ 89:;==?9@A?BCD:9EF9CGHAC?I!# JA=C:; KLMNLOPQR 17OPSLOPTRL UMO NLOP KLNL7OVL WQ7OP KL7OP $ 3 klmmnn3 ) XYZ[\]Y^[_[‘aba^acdefgab]‘Z[hib[cjc]YZ[b]‘XYZ[\]Y^[ XYb[Z 3 3 8o=CA:pC qQR012 rstuv7VT7uPswTOxt*+/RvQwy yRuLPORys7vLwO7VzswrRuuLOPrwR{{LrLROvuuM//7sL+RyvQR | 5 {7rvwsu7{{RrvvQRLOvRPsLvtw{vQR012 rstuv7V 1R{wMOyvQ7vr7MuLOPw{rstuv7Vrs7r}LOPT7u7u{wMs{wVVwTuV7v~ 6 6 $$%’%) $’%%) ) 6 !7PRzV7rR zV7rRws zV7rR