金刚石薄膜生长过程的Potts蒙特卡罗仿真%3a显微尺度二维动态可视化图像模型的探索性的研究.pdfVIP

第九届中国视体学与图像分析学术会议 2001年北京 金刚石薄膜生长过程的Potts蒙特卡罗仿真： 显微尺度二维动态可视化图像模型的探索性研究。 张禹，刘国权，秦湘阁 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京100083) 与其它材料相比，金刚石具有许多非常优异的性能，正是这些 特性，使金刚石成为一种理想的结构材料和功能材料。天然金刚 石资源稀少、价格昂贵，目前通过化学气相沉积(cvD)法人工合成 金刚石膜已成为推广使用金刚石材料的重要途径之一【l‘3J。人工 合成金剐石膜时，所得金刚石膜的表面形貌和粗糙度、微观组织及 晶体取向分布、缺陷，杂质的数量等决定着薄膜的性质和适用性。 然而，在CVD法人工合成金刚石膜过程中，在原子尺度和显微组 织尺度对化学气相沉积过程进行原位观测都是不可能的。因此， 我们在国内首次在运用经作者改进后的动力学蒙特卡罗仿真方法 的同质外延生长过程进行三维动态可视化图像仿真研究的基础 上“1，尝试开展了对CVD金刚石膜生长中多晶柱晶显微组织的形 成过程进行可视化图像仿真研究。 本文运用经作者改进后的Potts蒙特卡罗仿真方法”J，通过自 行编制的具有独立自主产权的VC算法及软件和对原子尺度和显 微尺度的仿真模型进行的尝试性耦合，对CVD多晶金刚石膜显微 尺度的生长过程进行研究。图1给出了形核密度为加％，两类不 同晶体学取向的金刚石“核心”生长速率比为O．5：1的条件下金刚 石薄膜生长过程的计算机仿真图像。其中不同取向类型金刚石晶 粒的生长速率数据来自于原子尺度仿真研究“]。仿真结果显示。 ·基金项目：国隶自然科学基金资助课题 盘c毒；螽箍箍裴授，噩罟留甚霍勰馨舞等高纛盔蓊黏蔫夺誊；i{}婪爹学科博士学 53 第儿届中国视体学与图像分析学术会议 2001年北京 在CVD金刚石膜生长过程中存在竞争特性和粗化效应，这一点与 实际沉积过程的实验观测一致。当生长时间达到近600MCS时， 低生长速率的一类晶粒已完全失去继续生长的机会。我们的材料 制备仿真研究实践表明，原子尺度仿真与微观尺度仿真的合理耦 合对于CVD金刚石膜的生长和相关问题的研究是一种有效的研 究新途径。 同时必须指出，本文工作尚远非完善。我们发现，显微尺度的 蒙特卡罗仿真方法的突出局限性目前尚不能再现实际金刚石材料 表面的小面化现象。进一步的研究工作仍在进行中。 图1形核密度为20％，生长速率比为o5：1 时金刚石薄膜生长过程中的计算机仿真瞬时 图像。图a，b，c，d，e对应的仿真长大时间分 别为200，400，600，800和1000MCS(蒙特卡罗 时问步长) 第九届中国视体学与图像分析学术会议 2001年北京 本研究成果填补了金刚石薄膜生长过程的显微尺度动态可视化 仿真研究的国内空白。 参考文献 [1]蒋翔云主编，金刚石薄膜研究进展．北京：化学工业出版社， 1991年． ofDiamondandRehted Reldmm_l 【2J Materials．(Edited Application by A．etal)，NISTspecialpublication885，U．S．Government PrintingOmce， Washington，1995． Kand P wiecherrD on 【3JBachman