椭偏光学显微成像系统自动调焦地研究.pdfVIP

2000年第14卷专刊 华北工学院舅试技术学报 Vol14Mono2000 JOUNALOFTESTAND MEASUREMENTTECHNOLOGY oFNCIT 椭偏光学显微成像系统自动调焦的研究 孟永宏靳刚 (中国科学院力学研究所国家微重力实验室北京100080) 擅耍椭偏光学硅微成像是九十年代友展起来的一种新型的超薄膜及表面测量技术。该技术为 薄膜利料分析和功能生物膜研究提供r一种新的手段，。言在生物分子药物筛选、临床医学诊断等 方向有期望获得广泛的应用。奉文针对椭偏光学显馓成像系统的特点．提出了一种适用于该系统 的三步白动调焦沾．即利用调焦评价函数通过三个步骤来实现系统的自动调焦。实验结果表叫． 雌二步自动i埘壤法使战像系统在最佳聚焦位置获得唯一的最大值为判据．迅速准确地获得最佳聚 熊。此方法具有调焦速度快和重复精度高的特点。 关t词 自动调建：调焦评价函数；椭偏光学成像 。引言 {1；f】偏光学显微成像技术是九十年代发展起来的一种新型超薄膜及表面测量技术。该技术 是任传统光学椭偏术的基础上，结合CCD摄像技术、计算机采样、图像处理而发展起来的。 它具订分辨率高(0．into量级的厚度分辨率和微米量级的横向分辨率)、成像面积大(达平 方肿米培级)、鲋果直观(以图像显示)和非接触测量等优点[J，2】。该技术为薄膜材料研 究千ll功能生物膜研究提供了一种新的手段【3+4]，并且，该技术在生物分子药物筛选和临床 医学诊断等力面仃划钒获得r。泛的应用。 任俐光1≯成像糸绒的JI：确使刚，都应满足一个兆同的基本条件，即正确聚焦。当被观测 物体-一)t-’产系统的删魍物面产生偏离时．动态调焦就成为光学系统使用中的一个关键问题。 忻；n这1、『j-J地般仃灿种途径，一是增大光学系统对景深的存限或把系统设计成远心光路的 ，IrJ-℃， ，址川拜种，J法米跟踪物体的变化【5】。 住椭偏光学显微成像系统中，一束平行的偏振光波倾斜照射样品，样品通过对入射光波 进{J|周箭．使得反向光波中包含了样品的信息。透镜和CCD摄像机对样品进行成像，得剑 r样『}i!l的椭偏蚓像。CCD摄像机获取的图像分为两路．一路进入视频监视器进行监视．另 一路进入计算机进行分析处理。通过对样品椭偏图像的分析，可以得到样吕表面的信息(如 图像的灰度分布表示样r；^的J’度信息等)【4】。椭偏图像的质鼙很人程度上决定了样品分析 的可靠性利精度，而啕焦的优劣是图像质量的重要标志。手动调焦时．依靠人的视觉主观判 断成像的调焦程度，随意必两面二刀，难以获得晟佳的成像质量。 为了获得理想的椭偏图像．本文提ii{n：椭偏光学显微成像系统中实现自动调焦一三步法 自动调焦。 1自动调焦系统 ’收稿fl期 2000．03．23 2000年6月 椭偏光学_!IIl微成像系统自动涧热的研究 221 由于微电子技术、微电脑技术、显示技术和测光元器件的发展．促进了自动调焦技术的 发展。自从六十年代开始，自动调焦技术己广泛应用于照相机、显微镜、投影仪、摄像机、 光刻设备和检测仪器等光学系统中【6]。 针对不同光学成像系统的特点，人们麻用了多种自动调焦方法。自动调焦技术的原理大 致分为两类一澳《距法和像检测法【7】。 测距法包括三角测量法和反向时间测量法。三角测量法分为主动式和被动式，主动式有 等。反向时间测量法包括超声波法等。测距法一般需要在原有光学仪器的基础上附加专门的 测距机构来完成物距的测虽，实现自动调焦。 像检测法主要是通过对成像质量的评价来判断像接收平面是否在理想的成像位置。该方 法包括对比度检测法和相位差检测法等。随着光电探测器和图像处理技术的发展，讷引起的 像质清晰度变化已能够用图像分析得到的参数加以衡草与判断。该方法的最大优点在于能直 接用受调焦影响的图像变化反馈控制调焦，从而达到最佳成像的调焦目的。对于其它原因引 起的系统像面漂移，该方法也能同时消除【8]。近几年关于自动调焦理论的讨论绝大多数是 像清晰度判断法