一种静电式微型镊子地研究.pdfVIP

2001年增刊 压电与声光 文章编号；1004·2474(2001)S0-0353-02 一种静电式微型镊子的研究 袁大军，黄文浩，臧展，褚家如，王英男 (中国科技大学精密机械精密仪器系．SPM与蚋米技术实验室，台肥230027) 摘要：提出一种新型的由静电驱动的微型探控系统，可用来夹特50—200“m的微粒．文中阐述了用破纤制徽微型 v 镊子的过程，对其电压一位移进行洲定，对谴系统进行理论模拟计算．本文中的碳纤堆微型镊子臂在电压加到208 30 时突然合拢，与理论值2 V基本相符． 关键词：微型镊子；碳纤雏；微系统 中目分类号：TM242文献标识码：^ 艾 Oil ResearchaMicrotweezersDrived Static by Electricity · NAUHUANGWenhaoYChen． ， CHUJiareWANG Da-jun ，zHANG， 一， Ying-nan (Dept．ofPrecisionMachineryandPrecisionInstrument,UniversityofScienceandTechnologyofChino,HeFei 230027，China) Abstract：This anew ofmicro drived call paperpresents type manipulationsystem bypotential，itmanipulatelittle at thesizefrom50 to200 a／fflsintheformoftweczerscouldmeasureelectrical particulates Hm p．m，two to properties．How fabficatethemicrotweezersandthemeasurementsofelectromechanicalofthemicr