射频%2f微波MEMS器件的研究.pdfVIP

s1℃’99 射频／镜啵MEMS器件研究 ● 赖宗声茅惠兵范忠石艳玲房惠霞 华东师范大学电子工程系 200062 摘 要 ● ；妻屯子机械系统(越cr。electrnⅢechaⅡjcalsystem．筒称gEMS)，是～项有广泛应用 前景的新兴应用基础技术，是面向21世纪的信息技术核心之一。其特点可归纳为3M，即微小 ci 型化(Ⅺiniatu“zatj∞)，多洋性(Mul 着信息时代的旋展，对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带 性提出了吏高的要求。这些元件用艇淞技术实现的研究引起人们极大的兴趣。 在无线通信领域中，正在进行研究开发的微机械元件有：微机械开关、徽机械传输线、 镟机械谐振器(包括射频、徽波、毫米波波段)、微机槭高Q电感和可调谐电容，微机械天线。 本文对微波毫米波搬龋技术在该领域中的最新进展作了评述 一．微机械开关 开关是通信系统的最基础元件。微机械开关归根接底可分为两类：1)悬臂粱结构，金属 —金属电接触型。2)挢式结构，金属一绝缘体—金属屯接触型。但工作原理基本稿同，当开 关的悬空结构与下电极之间加上的偏置电压超过某--f]槛电压时，其悬空部分受到静电力作 用下沉．发生电接触。以下分别举倒说明， 一种是RF袭蟊微机械开关。它是在一块半绝缘的Gags衬底上制作一个SiO2悬臂粱，铝 2捉积 —金电接触，静电执行器作为开关机制。它的制造工艺属于表面微机械加工技术，SiO s’功 撞内工作，插入耗损≤o．1曲舛GHz，蕊离性能≥25面舭GHz，工作电压28V,开关时间30p 耗1．4uw。 另一种则是一种宽带微波微机械开关。这是在半绝缘的GMs÷}底上制作悬浮膜(A上)+ ● 共平面波导(c研)+静电执行器的集成开关结构。c脚上淀积一层氮化硅以防止短路。由于c冈 的地的面积很丈，当CPi的地和悬浮膜之厕加上一个较小的直流电压，牙关就会工作。宽带 齄≥40曲， 众所周知，开关的主要性能是以off／on阻抗和开关速度来表征。传统的固态开关，如PIN ■ 能已优于传统的固态开关，在处理频率为GHz级的信号时，在“on-state”时的插入耗损极 小且在。off～state”时有良好的隔离性能。而且，微机械开关在“oN”态时，开关不吸收功 率、不耗电、线性好。 微机械开关存在的最大问题是开关速度铰慢．即它的吸、放时间(4-30us)比PIN二极 和G8As场效应管(3-5V)。这些均是必须重点研究的问题。 本研究是国家自然科学基金项目：微机械微波微型元件与魂_路研究 17 二，微机械微波传输线 有一种采用CMOS 的共平面波导(CoplanarWaveguide)．其输入阻抗有50o和120o两种。这种共平面密￡导制 a10sN-阱工艺。这种共平面波导的工作频率范围：卜