红外焦平面器件互连技术地研究.pdfVIP

红外焦平面器件互连技术的研究 张钢 (信息产业部电子第十一所北京) 摘要：约．外熙甲阿**体互连技术前先要在探潮黔，0H和Si读出电路l一制作i，l¨：．然店 m 加fj|lJ：臣焊}留两蕾h H～一列{。}，使探测器芯片i=|l si电罡{；连接成缸．外熊；17i『ii器Pf：。本文 摘进rfi连J支术f19三J|ij县体．：L艺：厚胶制作．In札，|i长和倒裴焊接，，i：对备】日按嚣粥进 行‘厂一乐列tel研究阳实验，同叫J=f：|于l28×128 lnSb凝视型-‘t3l-焦甲而器什，1k俏了满 意的结梨。 关键词：互违技术 厚』蹬l￡，性 倒装焊 1．引言 红外焦‘r面器什是精红外辐芽』探测，信号读出及处理信号能力连为一体的新一代红* 成慷传感器。它具有同态自扫捕读出功能，体积小，重量轻．而日灵敏度莆1分辨牢高．受 到IU：释*同岫覆忱。近业年，它谯阼列觇模，性隧．qi产车¨应用技术等方面部取衍了迅地 发幢 我所『{Ji宄fl,j Si—CMOS fi号渍㈣叫#通过n1杜瓦连制成，冈i匕互旌披：牝的优劣直接聊柄器…1勺f．t：f^ {_ji】寺悱． 2． 实验 q．琏枝求片●lj嵝带托：测器?出’}和S1 ij；小lm哳¨!：《n：：jl忡，然肝『fJf列牡埘接’『+；生m|i． j尘j絮：副；州：j。i”sj!：￡i连接威ii讣雇甲丽器删’。它包杯三Jl县体工岂： 2．1净胶制佧技术 州mht强南多种方法，我1f1饕用心胶剥离浊；刚{：Iil杜。其什力浊罡：先∞：．出JL l一制 n—I墨厚腑．光刮m陶月}，然后用蒸发或融挖溅刑馓．【．一定弭艘的钠膳．J畦厉il!雌剥岛， ：I-川。…÷．”t’定l：岂蛆求的1_IJI|1，田此厚腔们质量随接扶定例¨j削离的优劣．峄胶峭％． 制，?刊离小纾．厚^≮1：坼．t1』4挂睦 成一J}。如孵彬t1…ji裂，1i‘妯． ^ }．J：i缸废nj，‘19再|1i星踅。J∞×：诎J哎 E a、．札‘葵骑-h：蕞川旧i川控为 e ^7-“i20，RC．R弥!々训．．{E“jJ0：』}】 划 套 nJJI淋咬转速’iJ早度旧关系蛆旧’． 楚 监 腔J，为2n25ulm山_『帖屡披厚， “l；l2ipJ缚男电裂．塌陷，胶层1；均 匀．．显厉采用阶怫式烘驶洗，效粜 艟☆j，n】MA56光女4#L光嘉jJ。经过 多敞实验，已掌握一套厚胶制作方 洼．井能依a：同的要求方幔地制作 …不同n‘l、忧衙昭j晖脏展．为1{j{忡n勺}q高刚造了良好的条什。 2．2铟柱生长技术 厚腔制作完毕后，需要在；L上制n‘帆哟匀、…1端艘高、无啊|fE的锢层．馏层I*、劬钒 化埔_．if!丘．我”』聚n】热蕉发与融挖溅刖浊进行实验．通过稠节不同构蕊发弧度、蘸发¨ 川、fe疏与q!JJi比．确洪蕉发均匀、无}C化。诒：fij}i拧城刖州．通过谜扦币同的溅州j^车、 钓底强度、溅刳计寸『f}】米满足制层无液化、无氧化儿均匀。B3I-因为m与AJ怕接触不，h AI电椒颁预先沉张一层11一Au或Cr一^u过渡，以