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微波等离子体烧结金刚石烧结体的研究 苟立张旭波冉均国 (四Jll联合大学无机材料系，成都，610065) 摘要本文采用微波等离子体烧结新技术烧结金 法和工艺。 刚石烧结体，利用微波等离子体烧蛄技术快速加热-陕 2实验方法 速烧结的特点，使坯体在较小成型压力和较短烧结时 间内烧成，初步研究了铜、钴、镍等金属结合剂在Nz 实验工艺流程如图1所示。 等离子体条件下的烧结工艺，计论了微波功率，气体 [匾到～速圈一【i＆刭一【』§到一丝绸一睑到 压力、保温时间对烧结体性能的影响。 图l实验工艺流程 关键词微波等离子体烧结金剐石烧结体 1 chart Fig Experimentprocess 原料中金刚石(德阳金刚石厂)单颗粒强度为 1引言 金刚石制品(包括金属结合剂、树脂结合荆、陶瓷 5wt％)粒度均为200目；配料后加人聚乙烯醇水溶液 结合剂等)和金刚石聚晶几乎应用于每一个工业部 门。金刚石聚晶又称多晶金刚石，金刚石含量一般在 的园片，放人微波等离子体烧结装置中的样品台上的 80“以上，采用高温高压法合成。目前的研究难点在 密闭石墨窑具中烧结，采用密闭窑具的原因是防止金 于细粒度(1pm以下)金刚石聚晶和结合剂含量少 属挥发，污染烧结腔。 (低于0．1％)的金刚石聚晶很难合成。金刚石制品中 微波等离子体烧结装置如图2所示，采用Nz等 金刚石含量少，结合剂含量大，可以用钟罩炉、马弗 离子体研究微波功率、气体压力、保温时间、金属结合 炉、中频炉等烧结。由于设备、工艺单一，功能不完备， 剂与金刚石比例对烧结的影响。 并不完全适应金刚石制品的要求。为适应金刚石烧结 体发展品种，提高质量的需要，应研究和探索新的生 产设备和工艺。微波等离子体烧结方法以其快速加热 和快速烧结(100C／s)，烧结体致密度、晶粒度和性能 明显优于常规烧结法等优点“川]，已经运用于许多陶 瓷材料的烧结，如PZT，PLZT、Ah03、Y20㈣SiNt、 ZrOz、BtC等。不但提高了陶瓷烧结体的性能，还节约 了能源，降低了成本。本文把微波等离子体烧结技术 首先运用于金属结合剂金刚石制品的烧结，原因有两 个，一是树脂结合剂型没有必要采用这种技术，二是 结合剂含量少的金刚石聚晶可能难度较大。目前金属 机械聚 结合剂金剐石制品的工艺主要有两种：冷压法和热压 图2微波等离子体烧结装置 法“]。冷压法操作简单，生产效率高，可以生产大型制 2 Microwave—induced Fig plasmasinteringaDpara- 2)， 品，但成型压力大(单位压力4000kg～5000kg／cm tUs 金刚石易被压碎，且烧结和保温时间长。热压法成型 压力小，烧结和保温时问短，其中工艺一即冷预压一 3实验结果和讨论 烧结一热压，运用于较大规格制品的生产，但模具带 3．1烧结工艺条件选择 高温操作比较瘟险；工艺二即加压烧结同时进行，适 用于小于口150ram的产品，但设备复杂，对模具要求 在烧结样品之前，对纯金刚石和纯金属粉在烧结 高。本文在冷压法基础上，