铁基巨磁阻抗薄膜地研究.pdfVIP

铁基巨磁阻抗薄膜的研究 徐东吕霞圆蔡桶初 (上海交通太学信息存储研究中心) (上海交通大学”薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室200030) GIANTMAGNE萤O_IMPEDANCEEFFEerIN Fe．base NANOCRySDULINEF】臣MS ‰D0ng，LuⅪa，匿垂逦函撇d“埘垮}lIl (1nfb姗a吐on Ce咖；Sh哪血ai St砌辨Re辩郴h Jia她U曲螂劝 (“n妇Fihand Mi订。脚埘c撕。西’K口L曲．《St疵E‘Iu％60nMhlis_时 jiao．rong Sh稿曲ai u证v靠si蚍200030) [摘要】溉射方法制备的非晶F‰。‰6％％sj。。熟薄膜，通过适宜的退火处理得至惧有纳米晶妒Fe(si)和 非晶母相的混合结构和最佳的软磁性能，相应的巨磁阻抗值删I最高可达7器。本文着重研究了热处理条件 对Fe。诋扫小。si。。麟薄膜磁致阻抗的影响规律，并结台其内部组织结构，纳米微晶尺寸，软磁性能探索了巨 磁阻抗效应产生的机理。 [关键词]巨磁阻抗效应退火燕处理Fe“c％：cr4Usi。^5B，纳米微晶薄膜 』籼奇州：Am供曲卯sF‰再‰』江V≯iH声，minf．衄sw龃cpr甲龃edbylheRfmag驰蜘孤spm嘧妞g科蛐哪l＆nd 0f tt￥∞跚地8l。d c0Ⅱd越。璐jn∞i吐t0ob舡晒nsmes jlIⅦ咖砸糊Ⅱcal幻g oftwo 鼬s1heⅡlicfoshllctI璃of吐峙删a髓Ie吐Fe喃c110p—毋ili#～thiⅡ恤雎isphses：B埘n0咖Il如Ⅱed 口一F《si)cryslalIl地Ph蹦oand趾鲫掰pho峭PIl8船．Thc曲∞rvedg扭nt缸l哪do，虹驴cd蛐∞(GMI)租f酶t8 △Z，Z be㈣MI雠。衄d丘蛔s乜1J慨s啦 o of‰a蕊耐。d鲫螂括船m岫黯他％1k州越i诹ship m嘴ne雠芦叩ef睡s聃w酬丑stheapplied出iving删口r叫丘eqI材町7w拈di辅粕麓d 置叫蚪钾妇垂龇t 一、前言 近年来，随着计算机外部设备，信息设备，汽车和工业机器人一磺机电设备，电力电子 设备，医疗电子设备和工业测试设备等领域的迅速发展，需要新型高桎能微磁传簿器来检测 如高密度磁记录介质中频率为O～10瑚z的局域弱磁通。这类传感器应具备n)；1)小尺寸，2) 高灵敏度；3)快速响应；4)能耗小。近年来巨磁阻抗效应引起了国内外学者相当大的兴趣。 对一小尺寸样品，交流电压产生豹典型磁响应在低频磁感应和高频磁阻抗情况下分别为 25％^0e和l衅6，0e。比巨磁阻元件的灵敏度高出一数量级。铁基纳米材料是近年来发展起来 的一种新型软磁材料，近期研究又发现铁基纳米微晶薄带在适当温度退火后，由于纳米晶的 出现而具有显著的巨磁阻抗效应，其△刀Z0的变化就可达到5呻0以上阱，而且其灵敏度高、响 应侠、体积小，因此是一种理想的高灵敏磁传感器材料。巨磁醒抗薄膜材辩的开发研究对此 粪传感器的小型化和集成化及生产的批量化有着重要意义。本文着重于热处理过程对 ‰瓯_cf4v，si。B。纳米微晶薄膜的结构，磁性能和巨磁阻抗效应的影响进行研究。 ：．实验方法 组分为F‰‰scr；。VsSil3，B9的圆形台金靶材是由上海钢铁研究所采用真空感应熔炼方法 间控制。本底真空度为l×l()。Pa；氯气工作压力为5Pa；溅射功率密度为25w，伽2；薄膜厚 度为38