透明导电CdIn2O4薄膜透光率与Seebeck效应的研究.pdfVIP

透明导电CdIn2O4薄膜透光率与Seebeck效应的研究.pdf

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·82· 材料导报 杨丰帆1 廖克俊1 付光宗1 李 丽1 张 津2 (1 重庆大学应用物理系.重庆400044;2重庆工学院材料科学与工程学院,重庆400050) 摘要 果表明:氧浓度、基片温度越高,透光率越高;退火处理进一步提高了透光率,在可见光区域内膜的最高透光率高达 考价值。 关键词 CIO薄膜透光率Seebeek效应磁控溅射温差电动势率 The andSeebeckEffectof onTransmittance Investigation ConductiveThinFilms TransparentCdIn204 YANG LIAO FU LILilZHANG FengfanlKejunlGuangzon91 Jin2 (1 of 400044; DepartmentAppliedPhysicsChongqingUniversity,Chongqing 2 SchoolofMaterialsScienceand Instituteof 400050) Engineering,ChongqingTechnology,Chongqing Abstract thin DCreactive fromaCd—In Cdln20films(CIO)were alloy depositedby magnetronsputtering inanArand()2 influencesofdifferent concentrationandsubstrate and target atmosphere.The oxygen temperature treatmentonthetransmittanceofCIOthinfilmshavebeen andseebeckeffectofCIOthinfilms annealing investigated wasalsostudied.The resultsshowedthatthetransmittancebecame with the experimental oxygen higher increasing concentrationandsubstrate treatmentcanfurther ofCIOthin temperature.Theannealing improveopticalproperties the transmittancewas thevisible wasalsofoundtheseebeck films,and tO95%in highestoptical up

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