原创力文档- 1、本文档共2页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
电子显微学报J．Chin．Electr．Microse．Soc
17(5)：503～5041998年 503
相互作用研究
王雪文1 张志勇“2
真空中一次完成，中间不离开真空室，硅分形易于形成且效果非常显著。而世纪之交的微电子技
的寿命与可靠性会带来什么影响，这是本文研究的目的。
Pa，通入氩气，溅射压强为6Pa。
度约为1．5rim。然后在溅射台中溅射Au膜，预真空为1．3×10
KBr衬底以备微观分析。
a相应的衍射图为多晶金环，但有的斑点特别亮，有的消失，说明Au晶粒有长大的趋势，图b相
分形(如图d)，其衍射晕环较未退火的晕环边缘清晰。
导致寿命降低，为器件的可靠性分析提供了可靠的依据。
参考文献
[1]吴自勤．张庶元等．电子显徽学报．1996，15(2)：200--206．
HLeta1．ThinSolidFilms，1980，68：373--379．
[2]Galgher
D FilmsonSemiconductorsoftheSecondInternational
Ea]WoltersR．Insulating Proceedings
电子显微学报j．Chin．Electr．Microsc．Soc．
504 1998正
17(5)t503～504
l
7 180--193．
et
[4]TsaiCC a1．J．Vac．Sci．Techn01．，1982，21(2)l632—636．
447—448．
E53陈志文．张庶元等．电子显微学报．1997。16(4)t
120
图a 6C退火2h金分形暗场像 175
图b oC退火2h金分形暗场像
圉c与图b相应的衍射斑点 图d 175℃退火2h的si分形明场像
文档评论（0）