La-%2c2-NiO-%2c4-薄膜的制备和其氧敏特性的研究.pdfVIP

La2NiO。薄膜的制备及其氧敏特性的研究+ 李晓雷，徐廷献 (天津大学材料学院，天津300072) 摘薹t本实验以无机盐为原料。采用溶肢麓肢法制 有高温稳定性、二维导电性、半导体导体转换特性、 备了工赴Njq薄膜，井在中挂和弱还原气氕下得到了 高强超导性等特性，引起人仍极大的关注．其催化 性能近年来已得到了广泛研究．考虑到材料的气敏 单一的K2NiFI相．谊薄腱蛄构均匀。为一种多孔的蚋 米粒子腱．测试结果表明，e如NiO,薄膜具有良好的效应与倦化活性之阔存在着内在的联系．因此探索 电阻湿度稳定性和较好的氧戢特牲． 其作为气教材料的应用是报有前景的M． 美薯词：氲敏}溶胶-凝胶；LB抖iq 2实验 1引言 2．I尊一的制鲁 为解决汽车捧放带来的污染问题t近年来汽车 本实验采用的方法为无机盐溶胶·氍胶i击，以金属 用氧传感器得到了迅速发展．年需求量达数千万只． 硝酸盐为原料柠懈为瞢台剂，乙二醇为交联卉叽接适 现今得到应用的主要为ZrO：固体电解质型．但金属 当比倒配成溶液。将洗净的Alfq基片浸入溶液中． 氧化物半导体气敏材料．固其具有体积小、结构简 然后以一定的速度提拉出来．在基片的表面形成一 单、价格便宜、抗铅能力强等优点成为目前研究的 层均匀的液膜(浸法法)．在烘箱中干燥后，进行预 热点“i。 烧处理，重复以上步骤t直至薄膜厚度达到要求· 近年来．稀土复合氧化物作为功能材料的研究 最后进行烧成处理a 日益广泛．其中具有钙钛矿和类钙钛矿结构的镥、 2．2测试 钴、镰稀土复台氧化物，不但是一类重要的催化荆． 用sEM观察薄礁表面形貌，用Ⅺ∞检硼薄膜 而且还有着良好的半导体性质·其中A：BO．型类钙 结构。在自制的系统中，采用动态法测量薄膜的氧 钛矿稀士复合氧化物属于K2NiL型四方结构·可以 敏性能．以H2为载气，H—N2为还原气氛，0—N2为 看成由劈钛矿层与盐岩层交叠而成的化合物·其理 氧化气氛．在测试过程中两种气氛交替变换-并通 想结构如图1所示．这类结构特殊的复合氧化物具 过计算机实时来集样品电阻的变化· 3结果与讨论 3．1氲敏机理探讨 L8州}0．是P型半导体。其中N{H与Nj峡存· 当材料与氯化性气体接触时。发生下列反应 1，202+ne叶04■ Ni址岫●．+Ni¨ 此时氧将从半导体表面俘获电子．使P型半导体载漉 子浓度增加。电阻碱小· 当材料与迁原性气体接触时t发生下列反应： H，俨■一玛。岫e Ni’‘憎