超精密定位技术地研究（Research+on+Ultra-precision+Position）.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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超精密定位技术地研究（Research+on+Ultra-precision+Position）.pdf

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ofthe23rdChineseControlConference 1279 Proceedings 超精密定位技术的研究张金龙…㈨余玲玲…内田敬久㈨刘京南… (1．东南大学自动控制系南京210096) (2．南京师范大学电气与电子工程学院南京210042) (3．日本爱知工业大学情报工学科丰田市470—0392日本) E-mail：zjl0310@163．corn 摘要：利用激光莫尔信号设计了一种超精密定位装置，系统以工业控制计算机为核心，通过光、机、电的有机结合，可实现高精度位置检测及精密自动定位：采用的修正光栅技术可有效提高位置检测信号的灵敏度及定位捕度：针对系统存在非线性，精确控制模型难以建立的缺陷，将神经网络应用于该控制系统中，利用神经网络的自学习功能进行精密定位控制。实验结果表明，基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米的定位精度，对精密加工等工程领域具有重要的实用价值。关键词：莫尔信号精密定位修正技术智能控制 Researchon Position Ultra-precision Yu Uchida[3】Liu Jinlong【I】【2l Zhang linglingfl】Yoshihisa Jingnan[1】 ofautumatic (1．Department control，Southeast210096) Univ,Nanjing (2．CollegeofElec(rical ofInformationNetwork Institute Engineering，Aichi (3．Department ofTechnology,Toyada 470·0392。Japan) set based Abstract onlasermoir6 is can achievea automatic Ultra-precisionpositioning signalsdesigned．It fully combinationof and by mechanical modified precisionposition light,electronic technology．The gratingtechnique and itis to