平板型X射线象增强器的几个关键技术问题的研究与探讨.pdfVIP

平板型X射线象增强器的 几个关键技术问题的研究和探讨 何振些 (江苏湖光光电仪器厂扛苏无锡) 摘要：本文主要对大口径f100平板型x射线象增强器的研制开发过程中的几个蓑 键技术进行了研究探讨，提出了一些新的工艺方法，供从事真空成象器件的研究开发人 员参考。 关键词：x射线 McP吸气剂 二次电子 一、 引 言 平板型x射线象增强器国内八十年代末开始研制开发，其主要特点是引用军用微 通道电子倍增技术，将微通道扳(简称McP)应用到x射线象增强技术中，至九十年 代初口径450mm的平板型x射线象增强器已形成小批生产，但口径大一些的平板型x 射线象增强器却迟迟不能形成商品。近几年来，国内多家广商进行≯100平板型x射线 象增强器的研制开发，由于一些关键技术来能真歪解决，其可靠性和寿命仍是研制成败 的关键。由于大口径平板型x射线象增强器应用的McP直径较丈绘制管过程带来了一 系列的技术问题。例如，大直径McP的压板可靠性，McP表面气体的解吸工艺问题． 碘化铯烘烤温度低造成管内零件去气困难等关键技术工艺。我们通过买袭，探索出一些 解决这些关键技术的新思路新办法，与同行商讨。 二、MCP压板结构的可靠性研究 我厂研制的二种x射线象增强器，其McP直径分别为f100、≠160与微光象增强 其厚度受长径比的限制，只能在l～15mm之间，为此不能借角微光象增强器传统的压 板结构方式的设计思路，仅靠弹簧的弹性来实现压板的可靠性，显然已是行不通了。我 们通过反复实验，试验成功一种复舍式压板结构。由圆柱压块，螺钉螺{L加压片组成的 可拆式压板万式．同时在这种压板结构中增加均匀分布的数个弹簧来保证McP受压力 的均匀性以及接触的可靠性。保证了压板结构有可靠的导电性能和机械性能，同时这种 压板结构，较好地解决了McP的回收利用。 三、McP的电子冲刷去气工艺的研究 众所周知，Mcp的表面积展开是很天的。微光象增强器应用的McPf36mm经计 此大的表面积势必吸附了大量的气体。为此在平板型x射线象增强器制造过程中，如 何较好地对McP去气是关键技术。如去气不彻底．这样大的表藏积，即使单位面积放 出少量的气体．也会造成象增强器的内真空下降，造成管子报废。采用电子冲刷去气是 41 一种最好的办法。但是由于平板型x射线象增强嚣受碘化铯x光阴极烘烤温度低(不 大于280℃j限止，烘烤去气不彻底，McP含气量相当高；其次此类象增强嚣甲McP 无入射电子冲刷时是依靠x光子激发碘化铯产生二次电子，由这些二次电子作电子肄 刷的初始入射电子，要增加入射的二次电子效量，只有增加x光子的入射数，而增加 x光予的A射数，受x光源电流的限制，受这些因素的制约，≯50mm的x射线象增 强器电子冲刷均需在48小时以上，而x光源不能连续工作，一般x光源50％间歇工作， 这样号子冲刷实际需要96小时才能完成，而且这么长时间的冲刷，一是去气并不彻底， 二是效率太低，成本太高。在应用McP的各类成象器件中．McP电子冲刷始终是一项 关键技术。平板型x射线象增强器由于其McP面积大，这个问题更为突出。国内部分 专家认为，此类象管由于McP表面积太大，去气再彻底，其剩余的累积放气量足以使 象管在短期内就无法工作。因此我们在研制女100mm平板型x射线象增强器时，对这 一工艺技术问题特别关注，电子冲刷时观察记录McP的放气量，著根据国外有差文献 操索了一种新的电子冲刷工艺方法，其电子冲刷时的敖气速率太大增加，冲刷时间出原 来的98小对减少到30小时左右，实际冲刷时间15小时，从蓝测极限真空度情况看， 其去气效果比传统的电子冲刷方法要好。 四、关于吸气剂问题的探讨’ 与所有其它真空器件～样，在解决了其所有制管工艺以后，吸气剂决定了平板型x 射线象增强器的寿命。虽然我们制成的，loommx射线象增强器已经过了一年时问的使 用考验，但有一点是可以肯定的，吸气剂在现在所有的象管中担任了重要的作用。由于 此类象管的Mcp的放气量相对较大，其管内真空系统的平衡，全靠管内足量的吸气剂 抽出管内所有零件表面的放气。由于条件