金刚石涂层刀具探究.pdfVIP

第11卷增刊1 中重有色盒一学报 2N)1年5月 Vol11 200I The May sup阱1 Ch岫J删删0fN蛐阳哪Metals 金刚石涂层刀具研究① 周克崧1，代明扛1，宋进兵1．匡同春2，刘正义2 1广州有色金属研究魔，C娴51D651；2华南理工大学t广州510641) [摘 谱．压痕法，切削试验等对金刚石的形核、生长、膜质量以及涂层刀具的切削性能等进行了分析、测试。结果表 明：采用该方法可制备出较高质量的金刚石涂层刀具，并在切削试验中显示出很好的切削加工性能。 [关键词】等离子射流CVD；金刚石膜；刀具；硬质合金 自20世纪80年代初，日本采用热丝CVD法能获得块状、膜状的金刚石．这使金刚石的各种优 异性能得以应用。c、，D法制备金刚石膜的技术使 低压下在非金刚石基体上以1--2}‘m,／h的速度合成 金刚石膜以来，在全世界掀起了金刚石膜的研究热 人们看到了充分利用金刚石优异性能的时代已经来 潮。各国投入了大量的人力、物力，并取得了巨大 临。如利用金刚石的高导热性可制备高热导的散热 的成就。金刚石膜研究热潮的兴起，有两个基本原 片，应用于大规模集成电路、高功率激光二极管 因。一是金刚石是一种非常非常特殊的材料，它拥 等；又如金刚石膜可用于红外窗口、红外窗口保护 有许多的优异性能，如最高的硬度、最高的弹性模 膜、导弹整流罩等，具有耐冲蚀、耐腐蚀、高透过 量、最高的热导率和最快的纵波传播速度等，此外 率等优点；金刚石膜可制成喇叭振膜．具有高的频 它还是良好的透光材料，极耐酸碱腐蚀，是极好的 率响应上限，最高可达8万Hz；金剐石膜可制成厚 绝缘体等，其主要性能见表1【11。 膜金刚石刀具、工具和金刚石涂层刀具，具有寿命 正是由于金刚石具有极其优异的力学÷机械)、 长、加工质量好、加工速度快等优点；金刚石膜经 声学、电子(电子学)和热学性能的组合，使其在许 过掺杂还可制成各种传感器、探测器以及半导体 多高新技术领域得到应用，但是自然界存在的天然 等。 金刚石极其稀少、尺寸不大，且价格昂贵。而且目 CVD金刚石膜的研究开发经过近二十年的努 前成熟的制备金刚石的高温高压方法所得到的金剐 力，在制备方法、设备和应用开发方面巳取得巨大 石呈颗粒状，尺寸很小。这些都很大程度地限制了 成果。目前可用于制备金刚石膜的方法已达十几 金刚石性能的发挥。目前这些小颗粒金刚石只能发 种，其中最常用也是研究最成熟的有热丝CVD法、 挥金刚石的力学性能，应用于机械领域，如金刚石 微波CVD法和直流等离子射流CVD法，火焰燃烧 砂轮、磨盘，聚晶金刚石烧结刀具、工具等。采用 法、直流辉光放电法等。表2列出了常用的方法及 CVD法气相合成的金刚石膜克服了这些缺点，它 其特点【11。 裹1金刚石和CVD金刚石膜的主要物理性质 物理性能 t。亲fl 试样、■j_孺瓣、了磊赢1电nJt秀tlt嚅茅抽5A救_光瓣边光学薏过范围 ①【作者■介]周克崧(1941一)，男，教授缓高缎工程师 第1I卷增刊 周克崧，等：金刚石涂层刀具研究