MoS2基复合润滑薄膜制备的研究.pdfVIP

复合材料探索与求实 MoS2基复合润滑薄膜制备研究 张 晔，李长生，姚固文，田明霞 (江苏大学材料科学与工程学院，江苏镇江212013) 摘要：用磁控溅射的方法在不锈钢基体上制备了MoS：／Ni薄膜并通过添加DLC中间 层研究了中间层对于MoS：／Ni薄膜的影响，初步探讨了复合润滑薄膜的减摩机理。EDS与 XRD试验结果显示了MoS：复合薄膜中的主要成分以及主要晶面为平行于基面的晶面 速重载的环境下有更低的摩擦系数和更高的摩擦稳定性；而且硬质中间层的加入进一步降低 了薄膜的摩擦系数达到0．04左右。 关键词：复合润滑薄膜；磁控溅射；类金刚石薄膜；摩擦系数 1概述 ’ MoS：基复合润滑薄膜是指以MoS：为主体添加少量软金属或其合金、稀土等的复合材料 为靶材，在高真空中溅射沉积到指定基体上而形成的具有自润滑性能的薄膜…。 MoS：是一种传统的固体自润滑材料，由于其很低的摩擦系数与金属良好的结合能力以 及真空、重载条件下的优异性能，长期以来一直受到人们的重视，并且已经广泛应用在航空 航天等各项领域。然而由于MoS：在400℃左右开始慢慢氧化，在潮湿环境中迅速失效等缺 陷一定程度上限制了在一些特殊条件如高温、潮湿等条件下的应用呤J。近几年来已经有不 MoS2基复合薄膜来增强MoS2的抗湿抗氧化性能[3“]。 DLC中间层研究其对于薄膜性能的影响，并且初步探讨了MoS：复合润滑薄膜的减摩机理。 2实验过程 2．1靶材的制备 首先将纯度为99％的Ni粉与MoS：粉末充分混合以后进行球磨。球磨采用氧化铝磨球， 用模具压制成q)78mm 结温度为600℃，时间为1h。 2．2 MoS：复合薄膜的制备 薄膜制备所采用的设备为PSII型双放电腔微波ECR等离子体全方位注入装置。基片采 224 Mos2基复合润滑薄膜制备研究 合薄膜并添加了DLC中间层。薄膜制备的工艺参数：本地真空度为7．0×10一Pa，工作气压 3实验结果与分析 3．1 薄膜成分与结构分析 用JXA一840A型能谱仪对薄膜的成分进行了分析，结果如图1所示： 图1复合薄膜成分分析 从图l中可以看出复合薄膜中除了Mo、S、Ni以外还含有少量的O元素。0的少量存 在则可能是两个因素：一是靶材制备过程当中少量MoS：被氧化所致；二是溅射过程中真空 室极少量的水蒸气被激发。 在证明了薄膜中Mo、S、Ni元素的存在后，接着就对薄膜的结构和物相进行分析，所 面。由于MoS：的层状结构特殊，棱面的活性远高于基面】，所以棱边上的Mo容易被氧化 向，晶粒的这种取向生长，将有利于减少棱边上的Mo暴露于大气中的几率，从而提高了膜 层的稳定性。 225 复合材料探索与求实 ● l MoS2 MoS2 J 一1．o■川JIl^．om…．一 Two—Thete(deg) 图2薄膜XRD分析 3．2薄膜的摩擦系数测定 本实验摩擦系数测定采用的是美国CETR公司研制的UMT一3多功能摩擦试验机，能精 确测定薄膜的摩擦系数。首先为了考查MoS：／Ni复合膜在不同载荷下的摩擦性能的变化，对 随后继续考查MoS：／Ni复合膜在不同转速下的摩擦性能的变化，对复合膜在不同转速下进行 了摩擦测试，实验载荷为7009，转速为100～1000r／min，对磨材料与旋转半径不变，其摩 擦系数曲线如图4所示。 —_．卜1009 —_．-一2009 —1台一3009 +5009 O．3 遛10·25 籁0．2