五棱镜扫描技术检测大口径平面镜de误差分析【期刊】.pdfVIP

第44卷第2期 红外与激光工程 2015年 2月 VO1．44NO．2 InrfaredandLaserEngineering Feb．2015 五棱镜扫描技术检测大 口径平面镜的误差分析 戚二辉 1,2，罗 霄2,3，李 明1,2，郑立功2,3，张学军2,3 (1．中国科学院大学，北京 100049； 2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ，吉林 长春 130033； 3．中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要 ：五棱镜扫描检测具有结构简单 、检测周期短等优点，可以实现大 口径平面镜低阶像差的高精 度检测 ，是指导大口径平面镜光学加工过程的一种有效途径。为使大口径平面镜检测系统 中的五棱镜 扫描技术更加完善，通过理论分析和计算模拟，对五棱镜检测系统中的主要误差源，包括五