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离子束溅射制备锂离子电池高容量硅负极薄膜
及其电化学性能研究。
文钟晟。 田 丰 田如锦 孙俊才 王 亮 刘 莎
(大连海事大学材料工艺研究所，大连116026)
摘 要：采用离子束溅射沉积得到了锂离子电池高容量硅负极薄膜，通过SEM、XRD
等方法研究了其形貌结构特征。采用电化学循环测试方法表征了其电化学性能。较常用
的涂浆法制备的粉末电极来说，相同电极厚度条件下，离子束溅射沉积得到的硅负极薄
膜表现了良好的电化学循环性能，经过了100次循环以后，薄膜电极的稳定可逆容量为
0．218mA·h，保持在其第二次循环容量94％左右。硅薄膜电极经过长期的电化学循环
后，仍然不可避免地出现了活性颗粒的粉化现象，并且电极表面出现微裂纹，然而与普
通的硅粉末电极不同的是，硅薄膜并未出现与铜集流体的脱离，仍然保持了良好的电接
触性能，这是硅薄膜电极较粉末电极具有更高的循环稳定性的主要原因之一。
关键词：离子束溅射；硅负极薄膜；锂离子电池；电化学性能
ElectrochemicalStudiesof SiliconFilmasAnodefor
HighCapacity
LithiumIonBatteries Ion-beam
Preparedby Sputteringo
Wen Tianin Sununcai LiuSha
Zhongsheng·TianFeng Ruj J WangLiang
ofMaterialsand Maritine 116026)
(Institute Technology，DalianUniversity，Dalian
anodematerialwith for carbon—
Abstract：Newalternative highcapacityreplacing
anodeforlithiumionbatterieshasbeen for
type exploitedmanyyears．Amorphous
siliconfilm onCusubstratewas ion-beam
deposited preparedby sputtering。Its
retentionofsiliconfilmas
electrochemicalwasstudied．The
performance capacity
anodefor1ithiumionbatteriescanbe after100
ca．0．218mA·hcycles，94％of
the forthesecond excellent
relatively cyclability．The
capacity cycle，representing
film af-
micrometerofsiliconelectrodewastransformedintofine
grain nano—particle
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