真空蒸发法金属铝薄膜制备实验的设备支持和功能扩展.pdfVIP

2007年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会论文集 525 真空蒸发法金属铝薄膜制备实验的设备支持与功能扩展 龚恒翔‘¨ 夏明荣‘2’ 李雪‘1’ (1绍兴文理学院材料物理与设备研究所，浙江绍兴312000) (2杭州大华科教仪器研究所，浙江富阳311400) 摘要本文通过对真空蒸发法铝薄膜制备仪嚣设备和教学效果的分析，列举了现 有设备存在的不足，指出了能够达到良好实验教学效果的仪器设备必须具 备的基本特征：(1)物理过程直观可见，激发学生兴趣；(2)操作简单， 运行可靠。维护方便；(3)实验周期短；(4)功能扩展性强．此外，从充分 利用设备资源和积极鼓励学生创造性学习的角度，给出了一些供学生自主 进行的扩展实验项目． 关键词真空镀膜；设备支持；功能扩展 近代物理实验是物理专业学生必修的专业基础课程，也是对物理基础要求较高的其他理 工科专业的必修课程．真空相关实验是近代物理实验中一个重要的部分，真空与薄膜制备技术 近20年来迅速发展，应用遍及科研、众多工业领域和日常生活．为了达到良好的教学目的， 使得学生对真空技术与薄膜制备方法有基本的了解，研发更加适应教学的仪器设备是一个非 常重要的问题． 。 1仪器设备现状及问题 近代物理实验中真空相关实验有两个：真空的测量与获得、真空蒸发法金属铝薄膜制备． 作者走访很多高校发现实验用仪器设备基本上都是由两级真空系统(机械泵和金属油扩散泵) 发电极、衬底旋转机构)，复合真空计测量、极限真空度10—4Pa量级，有些设备还安装有石 英晶体测厚仪．众所周知，真空蒸发法是一种理论和实践上都非常成熟，最常见的薄膜制备方 法．把装有衬底片的真空室抽至10—2pa以下真空，加热膜料使其以原子或者分子形态蒸汽流入 射衬底片凝结成为固态薄膜【l’2】．蒸发法薄膜制备需要具备的3个基本条件是“高”的真空、“冷” ’ 的衬底和“热”的源． 用于真空蒸发的设备是各种规格型号的真空镀膜机．国产镀膜机大部分都是上世纪70 年前后定型的，设计目的是用于工业生产和科研而非教学．在教学工作中这些设备存在如下 · 的问题： ， (1)庞大笨重，噪音大 大部分镀膜机重量都在500kg以上，移动位置困难，置于2楼以上实验室需要考虑建筑 承重问题．机械泵多采用皮带传动的旋片式机械泵而不是高速直联泵，工作噪音较大，影响周 526 2007年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会论文集 围教学活动． (2)金属构件多，直观性差 · 由于是科研生产用途的，镀膜机一般都是用薄铁板做设备外壳和面板，真空室也是金属 材质的．学生要了解镀膜机的结构和各组件相互关系，只有打开前后面板和侧挡板，而且要伸 头进去才可以看清楚。不仅直观性差，而且存在一定安全隐患． (3)操作复杂 用于科研生产用途的镀膜机操作复杂．虽然大部分都有安全互锁设计防止误操作，但众多 的按钮和开关让学生望而生畏，在一个实验课时内让学生独立操作不现实．实验成为教师演示 学生走马观花式的参观，达不到教学效果．此外，从设备维修养护角度考虑，一般实验人员无 法胜任． 一 (4)衬底与源距离过大，实验要求真空度太高 。 传统的镀膜机为了保证沉积薄膜均匀性，衬底安放位置都是可旋转的，且与蒸发源距离 压P(Pa)满足关系： mC17t)，