低温共烧陶瓷_LTCC_技术在材料学上的进展.pdfVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 、 年 月 , 文章编号 一 一 一 低温共烧 陶瓷 技术在材料学上 的进展 王 悦辉 , 周 济 , 崔 学 民, 沈建 红 清 华大 学新 型 陶 瓷 与精 细 工 艺 国 家重 点 实验 室 , 北 京 摘 要 低温共烧 陶瓷 技术是近年发展起来 的令 人 瞩 目的整合组件技术, 已经成为无 源集成 的主流技术 , 成为无源元件领域 的发展方 向和 新 的元件产业 的经济增 长 点 本文叙述 了 低温 烧 陶瓷技 的特点、 备工艺、 材料 备相关技 和 国 外 究现状 以及 未来 共 术 制 制 术 内 研 发展趋势 关 键 词 低温共烧 陶瓷 无源集成 玻璃 陶瓷 微波介质 中图分类号 , 文献 标识码 引言 、 、 、 随着微 电子信 息技术 的迅 猛发 展 , 电子 整机在 小型 化 便携式 多功 能 数字化及高可 、 、 靠性 高性 能方 面 的需求 , 进 一 步 推动 了 电子 元 件 日益 向微 型化 集成化 和 高频化 的方 向 、 发 展 , 这 就 要 求基板 能满 足 高传播速 度 高布 线 密度 和 大芯 片封装 等要 求 低 温共烧 陶 瓷 技术 , 是近年来兴起 的一种令人 瞩 目的多学 科交叉 、 、 的整 合组件 技 术 , 涉及 电路 设计 材 料 科 学 微 波 技 术 等广 泛 的领 域 由于 它在 信 息时代