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400MHZ带宽声表面波RAC器件 宫俊杰周献文魏玉兰 (中国科学院声学研究所，北京，100080) SAWRAC 400姗zBandwidth ZhouXianwenWeiYulan GongJunjie Chinese of 00080) (InstituteofAcoustics，theAcademySciences，Beijing，1 一、 引言 声表面波线性调频脉冲压缩滤波器以其卓越的性能在雷达与微波辐射测量系统中得到 了广泛应用，随着此类系统对观测目标成像分辨率、清晰度和稳定性要求的提高，宽频带高 性能的声表面波线性调频脉冲压缩滤波器的研究工作就显得更为重要。 本文介绍我们最新研制可用于雷达、微波辐射测量设备的宽频带声表面波沟槽反射栅脉 冲压缩滤波器(简称声表面波RAC器件)，其线性调频带宽可作到400MHz。 二、 声表面波线性调频信号产生的基本原理 首先简要回顾一下我们以前介绍过的声表面波沟槽反射栅阵器件的基本结构，如图(1) 所示，它主要由压电晶片、发射与接收换能器、沟槽反射栅阵等几部分组成。 图(1)声表面波沟槽反射栅阵器件 在声表面波沟槽反射栅阵器件的结构中，沿声波传播方向的沟槽反射栅阵的宽度是渐变 的，由于不同宽度的沟槽反射栅将反射不同频率的声波，当换能器发射端加一电窄脉冲后， 经压电转换产生的不同频率声波就要沿声波传播方向走过不同的路程，这样声波经过二列沟 槽栅阵的反射折回后，在接收换能器端通过压电转换我们就得到了具有一定色散时宽的线性 调频脉冲信号。而两反射栅阵之间的变宽金属条则是用来补偿器件相位偏差的。 三、 声表面波RAC器件的设计与制作 在声表面波沟槽反射栅阵器件的设计与工艺实现方面，我们建立了压电晶片表面浅沟槽 栅阵传输函数的脉冲响应预计模型及传输函数相位响应预计模型的设计方法，离子束束流密 度闭环控制的栅阵精确刻蚀的工艺技术，最终我们通过优化的工艺过程、最佳工艺参数的选 择，研制出了400MHz带宽的声表面波脉冲压缩滤波器。 四、400MHZ带宽声表面波RAC器件的主要指标 一248～ 中心频率(MHz) 线性调频带宽(MHz) 色散时延(us) 1000 400 10 五、 研究结果 依据上述的设计方法与工艺制作，我们研制出了中心频率为1000MHz、线性调频带宽 400MHz、色散时延10us的宽频带、大压缩比的声表面波RAC器件。见图(2)频域响应图。 tooo．‘●Iooo‘oD4114Z 盈 一·7量!毒··鳇 MAFKEFqi ＆ _．1■．t盘自d置 i GH： Jy ，v__一 ( 。—-_．胡 f譬一一 图(2)400MHz带宽声表面波RAC器件的频域响应 六、 小结： 由上述的研究结果看出，沟槽反射栅结构的RAC器件还需要解决的问题是提高带外抑 制和减少相位误差，改善插入损耗。 七、 参考文献：、 1、T．A．MartinIEEETrausM．T．T．MTT-21(1973)E186 21 H．M．Gerard1974IEEEUltrasonics