不同晶体结构氧化钛薄膜性能的研究.pdfVIP

徐禄祥 等：不同晶体结构氧化钛薄膜性能研究 2461 不同晶体结构氧化钛薄膜性能研究* ∗ 徐禄祥，刘艳文，周红芳，冷永祥，黄 楠 (西南交通大学 材料先进技术教育部重点实验室, 四川省人工器官表面工程重点实验室, 四川 成都 610031) 摘 要：用非平衡磁控溅射技术分别制备了锐钛矿、 可见分光光度计测试Ti-O 薄膜的吸光度并用Tauc 法 金红石、锐钛矿和金红石共存结构的氧化钛薄膜。用 得到薄膜的禁带宽度。在JY-82 接触角测试仪上测试 X 射线衍射 （XRD ）分析薄膜的晶体结构，血小板粘 五种已知表面能参量的液体的接触角并分别按方程 附和凝血因子实验研究薄膜的血液相容性，分光光度 （1）方程（2 ）计算 Ti-O 薄膜表面能及其与血浆白 计和接触角测量法测试薄膜表面物化性质。研究表 蛋白、血浆纤维蛋白原、血液及水之间的界面张力。 明， 氧化钛薄膜具有宽禁带的半导体特性，血液相 用体外血小板黏附实验和凝血因子实验评价 Ti-O 薄 容性优于热解碳。金红石结构氧化钛薄膜由于其与血 膜的血液相容性。 浆白蛋白、血浆纤维蛋白原、血液及水之间有较小的 血小板黏附实验中采用临床应用优异的心脏瓣 界面张力，自身较低的表面能色散分量与极性分量的 膜材料－热解碳作为对照样。 比值，加之其宽禁带宽度的n 型半导体特性使其具有 γ (1+cos θ) d 1/ 2 p 1/ 2 γ p 1/ 2 lv ( ) +( ) ( lv ) 最优的血液相容性。 2( d )1/ 2 γs γs d （1） γlv γlv 关键词：非平衡磁控溅射；氧化钛薄膜；血液相容性； p 1/ 2 p 2 d 1/ 2 d 2 （2 ） λ [(γ ) −(γ )] [( ) 界面张力；表面能；半导体特性 sbc bc s + γ −(γ )] bc s 中图分类号：TB7; O53; O48 文献标识码：A 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 3 实验结果与讨论 1 引 言 3.1 体外血小板黏附 如图 1 所示，金红石结构Ti-O 薄膜表面血小板 氧化钛薄膜具有诸多优异的性能，如高折射率、 黏附数量明显少于其他结构薄膜及热解碳，且只有少 高介电常数、高稳定性等，在光学材料、光电陶瓷、 量血小板发生变形；金红石和锐钛矿共存结构的Ti-O 颜料、光催化等众多领域有非常广泛的用途。研究又 薄膜表面黏附的血小板圆整，彼此分离，很少有伪足 发现Ti-O 薄膜具有良好的血液相容性[1~3