二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究.docVIP

　 二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究 马连湘,王向宁*,段占立,王泽鹏,何燕 摘要：二氧化硅纳米绝缘薄膜的传热是靠声子在薄膜的振动实现的。声子在纳米薄膜结构中传输的非平衡性影响了薄膜的热导率。3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法。本文采用3ω方法分别测量低频率段和高频段的二氧化硅薄膜温升及二氧化硅薄膜的热导率，对二氧化硅薄膜的非平衡热导率进行了分析。 关键词：纳米薄膜；热导率；非平衡 PACC：6146；7430F；0570L 中图分类号：TH74 文献标识码：A The Study of Nonequilibrium Thermal Conductivity of Silicon Dioxide Nano Film Xiangning Wang*, Lianxiang Ma, Zhanli Duan , Zepeng Wang ,Yan He Abstract:The heat transfer of insulation silica nano film relies on the phonon vibration in film. The thermal conductivity of the film is effected by the non-equilibrium of p