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傅立叶级数方法对高速调制器的优化计算* 李瑛 张晓霞 刘玉喜 赵晓枫 （电子科技大学光电信息学院 成都 610054） 摘要：利用傅立叶级数法对Z 切铌酸锂CPW 行波电极Mach-Zehnder 高速调制器的性质进行分析计算和优化。研究了电极和缓冲层厚度对CPW电极结构的衬底电场分布、 微波有效折射率和特征阻抗的影响。计算表明增加电极和SiO2缓冲层的厚度能够缓解微波和光波的相速失配，而且薄的缓冲层厚度、厚电极要求的驱动电压比厚缓冲层厚度、薄电极所要求的要小，电极宽度与间距的优化比值在0.75左右。 关 键 词 高速调制器，傅立叶级数;，CPW行波电极 1. 引言 高速LiNbO3 波导电光调制器在高速发展的宽带光纤通信和信号处理中的应用非常广泛。不同结构的调制器中，Mach-Zehnder型调制器因其结构和制作工艺简单而成为最常见的一种[1]。一般的LiNbO3调制器，行波电极的长度和微波衰减受到微波和光波相速失配的限制。随着调制带宽的增加，驱动功率也随之增加。为了增加调制带宽减小驱动功率，必须增加电极的长度，以消除速度失配并减少微波衰减。在集成光学器件中，计算电场分布的方法有很多种，其中傅立叶级数法是计算调制器的几何参数对其性能的影响中最简单的一种。 2. CPW行波电极调制器的准静态傅立叶级数分析方法 在光电调制器中，CPW行波电极的横向结构尺寸远小于行波波长。因此，电场的横向分布可以用准静态的二维拉普拉斯函数和边界条件进行分析。但这种方法不适合分析厚电极和缓冲层的高速行波调制器[2.3]。傅立叶级数是分析图1所示调制器结构参数最简单的方法。 图1 CPW 结构的调制器 在图1中，厚度为的SiO2缓冲层沉积在各向异性的衬底上，其上加载厚度为的三个电极。利用Ti 扩散方法制作的光波导的介电常数变化很小，在进行计算的过程中，它的影响可以忽略不计。假设衬底是均一化的各向异性介质，Z切LiNbO3的介电常数分别沿着和轴，与的方向一致。相应的介电常数分别为和。缓冲层是均一化的各向同性介质，其介电常数为。假设三个电极都是理想的矩形导体，其中中间电极的宽度为， 其它的电极宽度为和，均大于，和是电极间距。加载在电极上的电压分别是、和。设有两个无限大的导体平面分别为和。 静态电场的函数如下所示[4]： (1) 调制器区域被分为几个分区，如图1所示。用表示分区的电势，其中表示不同的区域()。每个分区的电势满足拉普拉斯方程，如下所示： (2) 电势展开成傅立叶级数，满足(2)式，在交界面的边界条件是[5.6]： (3) 其中 在(3)式中，有8个未知数，可用方向交界面的边界限制条件确定[7]。系数可由和表示如下： (4) 所有的未知系数和可由(4)式求得。每个分区和方向的电场分布可由(1)-(3)式求得[8.9]，如下： 　　 　　　 　　　　　　　　　　(5) 3.调制器分析的公式 3.1　特征阻抗和微波有效折射率 和分别是设计行波电极调制器的重要参数。它们影响到电极和驱动回路的阻抗匹配和调制带宽。 1. 中间电极宽度W变化的情况 下图是W分别取8μm和12μm 时，有效折射率和特征阻抗随电极厚度变化的关系曲线。随着中间电极宽度增加，有效折射率增加，特征阻抗减小。 （a） (b) 图2 中间电极对特征参数的影响 微波的有效折射率本身就比光波折射率大，要得到速度匹配，希望减小微波有效折射率，和光波折射率相等。阻抗匹配，要求特征阻抗尽可能大，和信号源50Ω阻抗相匹配。但是中间电极宽度的增加，使得实现速度和阻抗匹配更加困难。所以下面的分析过程中，都取W=8μm。 2. 缓冲层厚度为零的情况 缓冲层作为隔离层，阻止金属电极对波导中光波的吸收。但是很多情况下，都没有考虑缓冲层厚度对特征参量的影响。下图是缓冲层厚度为零的情况下，电极厚度变化对特征参量的影响。随着电极厚度增加，有效折射率减小，特征阻抗也随之减小。当电极厚度增加到25μm时，，。 继续增加电极厚度虽然可以达到速度匹配，但是因为电极厚度增加，特征阻抗会继续减小，阻抗严重失配，很难实现宽带调制。因此要实现宽带调制，需要同时考虑电极厚度和缓冲层厚度对调制器特征参量的影响。根据上面的分析，增加电极厚度，增加缓冲层厚度，可以减小微波的有效折射率，达到速度匹配。选取合适的电极和缓冲层