纳米测量学与纳米探测技术.docVIP

第十五章 纳米测量学与纳米探测技术 纳米测量学是纳米科技完整体系中的一个重要分支学科，其内涵涉及纳米尺度的评价，成份、微结构和物性的纳米尺度测量等。 一、现状和展望 二、扫描探针显微分析技术 (SPM：Scanning Probe Microscopes) 一、现状和展望 1. 纳米测量学面临的任务 如何评价纳米材料的颗粒度及分布、比表面和微结构？ 如何评价超薄薄膜表面的平整度和起伏？ 如何测量纳米尺度的多层膜中单层膜的厚度？ 如何评价纳米器件？等等 2. 纳米测量学发展的途径 (1) 创造新的纳米测量技术，建立新原理、新方法。 纳米科技发展与1981年Binnig和Rohrer研制成功STM有很大关系。以STM为基础，人类可在纳米级乃至原子级水平上研究物质表面原子、分子的几何结构及与电子行为相关的物理、化学性质，并已发展了一些微细加工技术和相关的学科。 如“针尖化学”：研究在STM的针尖上单个原子和分子是如何反应的。 ( 是纳米测量的核心技术，它的诞生促进了纳米科技的飞速发展。 (2) 对常规技术进行改造，使之适应纳米测量的需要。 (离子束、光子束、电子束三束微束分析手段) 　　提高它们的横向、纵向分辨率 ( 电子显微技术 TEM：电子束 ( 可见光；磁场 ( 透镜。 TEM、STEM：达0.2-0.1nm的分辨率 （电子能量高达400keV以上，电子的波长短） U (kV) 100 200 300 400 500 ( (?) 0.0370 0.0251 0.0197 0.0164 0.0142 电子束波长比光波波长小几百倍，使 TEM的分辨率大大提高。随着计算机技术的发展，其放大倍数已超过一千万倍。 3．纳米测量技术的展望 (1) 超薄膜及横向纳米结构的分析技术 基于SPM技术，既可作为“眼”(纳米分析工艺)，确定原子和亚微米尺寸范围内的层面的几何排列和电子排列；又可作为“手”(纳米加工工具)，用于层面的修整（移动原子等）。 其未来的发展应着眼于： i) 探针多样化：电子、离子等微束与SPM结合。 ii) 对新型材料表面（陶瓷、聚合物膜、纳米成份膜）和超光滑表面进行分析，分析结果定量化。 iii) 纳米粒度的定位、加工和（原位）控制。 (2) 电子与光子束分析（能谱分析）技术 i) Auger电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS) ( AES：表面显微分析、深度剖面分析(溅射剥层) ( XPS：表面化学成分分析、表面电子态(化学键)分析 ii) 能量(波长)扩展X-ray分析法 EDX (WDX) Energy (Wavelength) Dispersive X-ray Analysis 纳米微区的化学成份和价电子结构信息、 电子结构（物相分析） 还有紫外光电子谱UPS、电子能量损失谱EELS，等 (3) 质谱分析技术 ( 二次离子质谱SIMS：灵敏度高(百万分之一到十亿分之一之间)、横向分辨率高达100-200nm ( 二次中性质谱SNMS：横向分辨率达100-10nm ( 激光显微质谱分析法LAMMA：用于纳米测量的工业化应用（激光剥离 + 质谱分析） (4) 显微分析技术 i) 电子显微技术 ( TEM (Tunneling electron microscopy) 、STEM： 达0.2-0.1nm的分辨率 （能量高达400keV以上，电子的波长小） ( SEM (Scanning electron microscopy) ii) X射线显微技术：不需高真空，可用于生物样品 iii) 光电子散射显微技术 PEEM：表面电子散射成像 低能电子显微法 LEEM：表面上二次电子、电子 反射、散射成像 (5) 纳米表面（粗糙度）测量技术：(已达0.01nm) ( 机械法：超高精度画针测量技术、STM、AFM 等 ( 干涉法：各类激光干涉测量仪 二、扫描探针显微分析技术 1. Scanning Tunneling Microscope (STM) 1981年，美国IBM公司在瑞士的苏黎世实验室的G.Binnig和H.Rohrer博士发明了STM，1986年即获得Noble物理奖。[G.Binnig, H.Rohrer, C.Gerber et al., Appl.Phys.Lett., 40(1982), 178.] (1) 工作原理 扫描隧道显微镜（STM）是利用量子力学中的隧道效应对样品表面进行分析观察的。 ( 隧道：隧道效应是量子力学中微观粒子所具有的特性，即在电子能量低于它要穿过的势垒高度时，电子由于具有波动性而具有一定的穿过势垒的几率。 ( 将一个探针（其尖端可制成只有一个原子大小的极细针尖）和被研究物质的表面作为两个电极