基于STM纳米电加工针尖几何效应的有限元分析和实验研究.pdfVIP

微细电火花加工 351 基于STM纳米电加工针尖几何效应的 有限元分析和实验研究 杨晔，赵万生 (上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室，上海200240) 摘要：构造了基于扫描隧道显微镜(STM)电加工装置的针尖一样品模型，利用有限元方法计算获得了加工 过程中，不同针尖几何模型下，样品表面和针尖～样品间隙间的电场强度分布；且基于电击穿时的电场强阈值， 预测了在纳米尺度间隙下STM电加工过程中相应的刻蚀结果。通过对导电石墨样品表面进行纳米电加工试验， 观察到由于针尖顶端的几何差异，加工形成了不同深径比的刻蚀坑。并通过实验确定了最佳加工状态下的针尖曲 率半径值，与有限元预测结果相一致，实验结果有效地验证了有限元计算和预测的结果。 关键词：扫描探针显微镜(STM)纳米电刻蚀；介电击穿放电；石墨表面刻蚀 扫描隧道显微镜(STM)是1982年由IBM瑞士苏黎士实验室的GerdRohrer研制 Binning和Heinrich 出的，这是人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性 质。除了利用STM所具有的对导电或半导体材料表面的原子级高分辨率，对样品表面进行纳米尺度，甚 至是原子尺度(亚纳米尺度)的三维形貌成像外，利用STM针尖还可以实现对原子和分子的移动和操纵【l圳。 目前，除了在真空和低温环境下进行单原子和单分子的操纵外，利用STM可以在大气常温环境下进行纳 米尺度(10～100nm)的制造加工。相关的研究也取得了巨大的发展，通过采用不同的原理和方法，如： 度结构的加工成形。近年来，随着各种电子器件，生物器件等的加工制造正在向着小型化、纳米尺度方向 发展，利用STM进行可控的纳米尺度加工更加具有应用价值和研究意义。 本文对STM纳米尺度电加工模型进行了有限元电场计算分析和相应的实验验证，这对于掌握基于 STM的电刻蚀加工方法规律，并将其应用于实际加工中具有重要的指导意义。之前的文献中多将针尖简化 为点电荷【l…，对STM电场加工中的电场分布进行计算，忽略了针尖几何作用的影响。而本文的有限元分 析中，研究了不同几何构型针尖下的电场分布，充分地考虑到针尖几何作用对于实际加工状态的影响。模 拟计算及预测结果也在实验中得到了进一步的验证。 1 基于STM的电加工装置和原理 本文基于扫描隧道显微镜(STM)的电加工装置构造是 在通用STM仪器的基础上，在探针电极和导电样品电极两端 施加几伏到几十伏的外加电压脉冲，其加工装置的原理示意 图如图l所示。利用在探针．样品两极纳米间隙中形成的强电 场(109V／m以上数量级)，将极间空气介质电击穿，形成高 温高压的放电通道，使得针尖下方的局域样品材料被高温蚀 除或高压抛出。文中将发生介质击穿放电的电场强度阈值用 ％来表示。Malshe等在纳米尺度的电击穿实验研究中指出易 约为109V／m[11j，本文采用该阈值作为有限元分析预测加工区 域大小的依据。 图1 STM电加工装置的原理示意图 352 第15届全国特种加工学术会议论文集(上) 2 STM电加工模型的有限元电场分析 2．1构建有限元模型 图2是所构建的二维探针针尖凸起．样品平面的几何模型示意图，针尖几何采用顶部曲率半径R以及 与项部圆弧相切的半锥角6c来描述。样品长度为2W,模拟中取值为1“m，针尖高度日为60nirl，样品和 针尖形状都以AO线为轴呈轴对称，针尖顶端和样品间的隧道间距D为0．6nln。有限元计算使用的是 FlexPDE软件学生版，模型采用三角形单元进行网格离散，在远离针尖顶端处采用相对粗的网格划分，而 对样品和针尖间隙处的网格进行精细划分，间隙空间中最小的三角形网格边长约为0．4nln(图3)。 图2 STM电刻蚀加工中针尖的几何模型 图3不同参数下的针尖模型和网格划分 对于二维静电场模型采用式(1)和式(2)描述，其中，式(2)表示在任意单元中电荷守恒：