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真空与低温 第20卷 第6期 332 Vacuum &Cryogenics 2014年 12月 二次电子发射系数的光电测试方法研究 杜威志 ,王多书 ,李 晨 ,张 玲 ,王济洲 ,董茂进 (1.中国科学技术大学,安徽 合肥 230000; 2.兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000) 摘要 :采用电子枪产生的电子进行材料二次电子发射系数的测量与研究,该方法 由于实现过程较为复杂且很难 获得微小流量入射原电子等限制了其应用。故采用紫外激发金属锌获得入射原电子的方法 ,利用高压电源和静电 计 ,实现了材料二次电子发射系数的精确测量。在电子倍增器中分别测试单级打拿极二次电子发射系数和倍增器增 益 ,比较后获得了材料二次电子发射系数精确测量的方法。利用该方法,研究了氧化镁材料的二次电子发射性能,得 到了基于氧化镁发射材料的电子倍增器增益。 关键词 :二次电子;发射系数 ;氧化镁;光电测试 ;方法 中图分类号:0462.2 文献标志码 :A 文章编号 :1006—7086(2014)06-0332-04 DoI:10.3969~.issn.1006·7086.2014.06.006 STUDY oFSECoNDARYELECTRoNEM ISSION COEFFICIENT BYPHoTOELECTRICTESTMETHoD DUWei-zhi’,WANGDuo-shu2,L1Chen,ZHANGLing~,WANGJi-zhou,DONGMao-jin I1.UniversityofScienceandTechnologyofChina,HeifeiAnhui 230000,China; 2.ScienceandTechnologyonVacuum TechnologyandPhysicsLaboratory, LanzhouInstituteofSpaceTechnoloyg andPhysics,Lanzhou Gansu 730000,China) Abstract:Themethodofmearsurementandstudyonsecondaryelectronemissioncoefficientbyelectronsproduced byelectrongunlimitstheapplicationwiht complicatedimplementationprocessanddifficultacquisitionofmicro-·flow in-· cidentprimary electrons.Thereforeanacuratemeasurementofsecondaryelectronemissioncoeffi cientneedsthemethod ofobtainingincidentprimaryelecteonicsbyulrtavioletexcitationmetalzincthroughhighvoltagepowersupplyandelec— trometer.Respectivelyteststand-alonedynodewithsecondaryelectronemissioncoeffi cientandmultipliergaininelectron multiplier.Anacuratemeasurementofsecondary electronemissioncoeffi cientisobtained.Sutdythesecondary electron emissionperformanceofmagnesiumoxide{MgO)materialaftercompa

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