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中国·北京 中国金属学会第十三届分析测试学术年会 2006年10月
Conf．ofCSM Octobet．2006
Betjing。China The13thAT
行一步对产品工艺进行改进，降低易氧化元素在表 表面性能分析。
面的富集，从而提高冷轧板的耐腐蚀性能。 (3)实验结果表明，本分析方法对金属材料表
面纳米级薄膜的分析具有实际应用价值，可应用
3 结论
于金属材料的表面处理研究。
(1)通过正交试验法优化辉光光源的放电参
参考文献
数，选用多种基体标准样品，经过溅射率校准后，
建立各分析元素分析强度和分析浓度的标准工作 [1]顾国成．表面处理钢材的生产与应用[M]，北京：科
曲线，形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法。 学技术文献出版社，1989．
并用XPS变角度法对膜厚测定的准确性进行了 [2]钱苗根．现代表面技术[M]．北京：机械工业出版社
出版，1999．
Q验证，精密度实验表明测定纳米级膜厚的相对
[3]张毅，陈英颖，张志颖．辉光放电光谱法分析镀锌钢板
标准偏差可达10％。
[J]．理化检验，2004，40(4)：191．
(2)将该分析方法应用于铝基复合氧化膜和
[4]陈国光，曹婉真．电解电容器[M]．西安：西安交通
冷轧板的易锈蚀分析，结果表明：GDS定量逐层 大学出版社，1993．
分析可以得到准确的膜层厚度及元素浓度深度分 Finish[J]，Soc．
[5]K．Shimizu，K．Kobay越shi，J．Surf
布信息；与其他分析技术结合，既可以为优化氧化 Jpn．，1995，46：402．
膜制备工艺提供科学依据，也可以用于金属材料
onmetal
of ofnanofilm
Studyanalysis byglowdischargespectrometry
ZHANG
Yil，HEXiao-lei2，CHENYing．yingt，WUJun-feil，
…；(1．BacateelResearch 201900 and
Institute，ShanghaiChina；2．Tasting
China ofScienceand 200237，China)
AnalysisCenter，EastUniversity Technology，Shanghai
WaS
ofllanofilmonmetals introducedinthis
Abstract：Analysis byglowdischargespectrometry paper．Throughoptimizing
80U102 and ratesofrefere
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