多层膜结构声表面波传播理论的研究进展.pdfVIP

Pt．2 第32卷第6期 声学技术 V01．32，No．6 2013年12月 TechnicalAcoustiCS Dec．，2013 多层膜结构声表面波传播理论研究进展 孙斌，张涛+ (西安科技大学理学院，西安。711054) 摘要：近年来，基于压电多层膜结构声表面波器件得到了广泛的关注和研究，尤其在电子工程及通信技术等领域 得到广泛应用。本文研究基于多层膜的声表面波器件传播理论，介绍了声表面波场理论的声表面波传播特性的主要 计算方法，包括传递矩阵法，表面阻抗法，刚度矩阵法，频散方程以及声表面波的激励方式等。通过对基于多层膜 的声表面波传播理论研究的分析与总结，介绍并讨论了目前国际基于多层膜的声表面波器件的理论研究现状及进展。 关键词：多层膜介质；声表面波器件；压电材料； inme ofSAⅣ Progresspropagationtheory ^ ● ， 一 一 onthe film based multilayer Tao木 SUNBin．ZHANG Abstract：Inrecent devicesbasedon structurehasbeen attentionand years，SAW piezoelectricmultilayer widelypaid inthefieldofelectronic andcommunicationsthis researched,especially engineering technology．Inpaper,thepropagation SAWbasedonthe filmhasbeen the thecharacteristicsofSAW of calculationof theory mulfilayer researched,introduced field the thestiffnessmatrix basedontheSAW transfermatrix surface methodand theory，including method,theimpedance the theincentivemethod and the ofSAW method，anddispersionequation，and ofSAW．Byanalysissummarypropagationtheory basedonthe film．thecurrentinternationalresearchstatIlsand ofSAWdevicesbasedonthe multilayer progress multilayer filmisintoducedanddicussed．