基于丝网印刷的氧化锌阴极放气特性的研究.pdfVIP

中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 基于丝网印刷的氧化锌阴极放气特性研究 崔云康1’2张晓兵h‘雷威1肖梅1王金婵1狄云松1毛福明1 1东南大学电子科学与工程学院， 江苏南京， 210096 宰Tel：+86-25Fax：+86—25mail：bell@seu．edu．cn， 2南京工程学院基础部， 江苏南京，210013 摘要：在场发射器件中，比如场发射显示器件中，阴极放出的真实气体常常被阳极、栅极以及器件 封接过程放出的气体所掩盖。本文利用四极质谱研究了场发射显示器件中基于丝网印刷的氧化锌阴极 的放气特性。氧化锌阴极放出的气体成分主要是一氧化碳、二氧化碳、甲烷和氢气。我们发现这些气 体不仅仅来自于氧化锌阴极表面吸附气体的解吸附，更可能的是来自于氧化锌阴极材料的化学吸附的 气体和氧化锌阴极浆料中未分解的有机原料。氧化锌阴极放气特性的研究对其能成为可靠的场发射冷 阴极具有重要意义。 关键字：放气特性氧化锌阴极 1．引言 纳米氧化锌由于其合适的禁带宽度(常温下3．37ev)、较高的激子束缚能(60meV)、优良的机 械稳定性和较大的纵横比，近年来得到广泛的关注[1—4]。许多研究已将其作为一种冷阴极材料广泛 地应用于真空微电子器件，比如场发射显示器、冷阴极微波管、冷阴极x射线管等等[5-7]。近来，通 过不同方法制备的各种形状的氧化锌的场发射特性被大量的报道[8—10]，然而，作为真空微电子器件 的冷阴极材料，除了要解决低开启电压、强发射电流及材料的定向生长等问题之外，长使用寿命也是 必须解决的问题。对场发射器件而言，材料的放气是一个关键的因素，它将引起阴极中毒(材料放气 与阴极发生化学反应)、离子轰击从而影响阴极的使用寿命[11—13]。在场发射器件中，阳极、栅极、 阴极表面气体的解吸附和器件封接过程残留的气体都是放气的气源。为了提高器件的真空度，器件内 的放气特性分析是必要的。本文利用装有四极质谱的超高真空系统研究了氧化锌阴极工作过程中的放 气特性，这对发展纳米氧化锌场发射冷阴极有重要意义。 2．实验 纳米氧化锌是在硅基片上直接蒸发锌粉的方法制各的，合成温度为9500c，合成的气体为空气，该合成方法先前已有 所报道[14】．为了测试氧化锌阴极的放气特性，我们获得纳米氧化锌材料制备了一个氧化锌阴极场发射二极管样品，场发 射二极管样品的结构示意图如图1所示。阴极电极和阳极电极都是ITO玻璃，我们用丝网印刷的方法将氧化锌浆料印制在 cmxl．5 有效面积为1．0 cm的IT0玻璃上，作为场发射二极管的阴极。氧化锌浆料是制备的氧化锌粉末、 乙基纤维素和松油醇的混合物。为了减少样品阳极放气对测量的影响，我们在阳极的IT0上镀了一层 中被加热到420℃以去除浆料中的有机成分。 183 中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 图I样品的结构示意图 场发射二极管样品通过CF35的金属密封法兰连接到一个装有四极质谱计的标准超高真空残气分析 系统上。四极质谱计用来测定残气的成分和变化。残气分析系统如图2所示，包括一个CF35的金属密 and 封法兰、两个超高真空阀(Vl V2)和一个B-A真空规。B—A规采用氧化钇灯丝，发射电流为100心。 分析室装有机械泵、涡轮分子泵和溅射离子泵。 Sputter ion pureP 图2残气分析系统示意图 Pa后，在样品阳 Pa；然后打开溅射离子泵，同时V1关闭、V2打开。当真空室的最终压强达到2×10。6