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2015正 2015
No．2
第 2期
纳米 TiO2敏感膜修饰的QCM 气体传感器检测氨气的研究
张嘉琪，胡馨升，陈培飞，周 艳，关文玲
(天津理工大学环境科学与安全工程学院，天津 300384)
摘要：主要介绍了纳米TiO：修饰的QCM(QuaazCrystalMicrobalance)气体传感器的制备与测试。在石英晶振片表面
制备纳米 TiO：敏感膜，构成QCM氨气传感器。检测系统为 自主研发的基于LabVIEW 平台的QCM 气体传感器频率测试
软件。检测氨气的体积分数为 lx10～～5x10～，响应时间均在 10s以内，响应最大频差值与氨气浓度呈现 良好的线性关
系，相关系数为 0．9994。室温条件下，纳米TiO：敏感膜可以完全实现吸附解吸过程 ，具有可逆性。该传感器性能稳定，
响应灵敏 ，具有重复性。
关键词：QCM；纳米 TiO2；氨气；传感器；LabVIEW
中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2015)02—0005—03
Research f0rDetectionofAmmoniaGas
ThroughQCM GasSensorModifiedbyNanometerTiO2
ZHANGJia—qi，HU Xin—sheng，CHEN Pei—fei，ZHOUYan，GUAN Wen—ling
(SchoolofEnvironmentalScienceandSafetyEngineering，TianjinUniversityofTechnology，Tianjin300384，China)
Abstract：ThispapermainlyintroducedthepreparationandtestofnanometerTiO2modifiedQCM(QuaazCrystalMicrobal—
ance)gassensor．UsingnanometerTiO2sensitivefilmontheQuartzCrystalsurfacetoconstitutetheQCMammoniagassensor．The
detectionsystemwasself-developedfrequencytestingsoftwareofQCMgassensorbasedonLabVIEW plaftorm．Theconcentration
ofthedetectedammoniagaswas1×10一～ 5×10一 ．andtheresponsetimewaswithin 10seconds．Therespondtothe~equeney
differencevalueexhibitedanexactlinearrelationshipwiththeconcentrationoftheammoniagas．Undertheconditionofroom tem—
perature，thenanometerTiO2sensitivefilm hadreversibilitywhichcanfullyachievetheadsorptionanddesorptionprocess．The
sensoriswith stableproperty，sensitiveresponseandgoodrepeatability．
Keywords：QCM；nanometerTiO2；ammoniagas；sensor；LabVIEW
0 引言 1 试验
气体传感器在工业生产、环境保护与监测、国防公共安全 1．1 试验装置
等领域具有十分广泛的应用前景 ，因此开发具有高灵敏度、低
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