几种边缘检测算子在半导体器件视觉检测中的应用分析.pdfVIP

维普资讯 · 电气技术与 自动化 · 范红艳，等 ·几种边缘检测算子在半导体器件视觉检测中的应用分析 几 种 边 缘 检 测 算 子 在 半 导 体 器 件 视 觉 检 测 中 的 应 用 分 析 范江艳，史金飞，张 磊 f东南大学 机械工程系。江苏 南京 210096) 摘 要：边缘检测是图像处理ee的重要环节。针对半导体器件视觉检测ee的实际需要，使用C 语言编写处理程序，应用几种经典的边缘检测算子对一幅半导体 图像的管脚区域进行检测，并 对实验结果进行比较，结果表 明，Prewitt算子能够快速的提取出边缘，满足实际需要。 关键词 ：边缘检测 ；半导体；算子 中图分类号：鼍91．41 文献标识码：A 文章编号：1671—52762【006)05—0130—03 AnalysisoftheApplicationofSeveralEdgeDetection OperatorsonSemiconductorVisionDe tection FANJiang—yan，SHIJin—fei，ZHANGLei (MechanicalEngineeringDepartment，SoutheastUniversity，jsNanjing210096，China) Abstract：Edgedetectionisessentialin imageprocessing．Thispaperintroducedseveralclassicaloperatorsof edgedetectionandprogrammedwiththeC languagetodetecttheregionofpinsinasemiconductor’Simage， basedontherequirementofthesemiconductorvisiondetection．Then，theresultwasdiscussed，andthePre— wittoperatorwasproveditspracticalityandspeediness． Keywords：edgedetection；semiconductor；operators 器件视觉检测中的具体要求，应用各种边缘检测算 0 前 言 子对管脚部分进行检测，为后续能够正确判断出管 边缘是图像最基本的特征，是指图像中像素灰 脚数 目及大小做好准备。 度有阶跃变化或屋顶状变化的那些像素的集合。 1 几种边缘检测算子简介 它存在于 目标与背景、目标与 目标、区域与区域之 间。图像边缘是图像局部特性不连续性 (灰度突 图像上区域的边缘反映为相邻像素问灰度值 变、颜色突变等)的反映，它标志着一个区域的终结 的跃变。边缘检测可借助空域微分法通过卷积或 和另一个区域的开始。图像中的边缘对分析视觉 类似卷积的运算来实现。对于数字图像而言，求导 图像特别重要，是图像分割、纹理特征提取和形状 数实际上用的是求差分 。图像处理中最为常用的 特征提取等图像分析的重要基础。 边缘检测算法有梯度法、Roberts梯度、Sobel算法、 实际产品检测过程中，由于摄像机采集到的图 Prewitt算法和Lapalacian算法等。下面仅针对本 像往往被强度噪声所污染，我们无法直接对采集的 文应用的几种边缘检测算子进行说明。 图像进行边缘检测，而需要进行平滑滤波 以减弱或 1．1 Roberts边缘算子 消除这种高频分量。然而图像平滑又往往使图像