化学修饰溶胶-凝胶法制备薄膜微细图形研究.pdfVIP

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2017-08-12 发布于北京
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化学修饰溶胶-凝胶法制备薄膜微细图形研究.pdf

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学修饰溶胶-凝胶法制备薄膜微细图形研究俊王秀峰（陕西科技大学材料科学与工程学院，陕西咸阳，712081 ） E-mail: fangjun0803@163.com 要：本文介绍了一种薄膜微细图形制备方法－化学修饰溶胶-凝胶法，该方法设备简单，成低廉，微细图形制备精度高。解释了它的薄膜微细图形制备原理。对它的影响因素以及在光波导薄膜，铁电薄膜以及透明导电氧化物薄膜的微细图形制备领域研究应用情况进行了综合评述，提出了研究发展前景。关键词：化学修饰；溶胶-凝胶法；薄膜；微细图形 1 引言溶胶-凝胶法制备薄膜具有设备简单、成分易控、工艺简单等特点，在制备功能性薄膜 [1] 领域获得了广泛的应用。但要把薄膜应用于功能器件一般还要对其进行微细加工以获得微细图形，传统的方法是先制备薄膜，再采用光刻或离子刻蚀等法获得微细图形，但设备复 [2] 杂，成本高，而且难以达到所要求的精度。 [3] 采用化学修饰法和溶胶-凝胶法相结合的微细加工法是最近几年发展起来的一种新法，这种法的特点是无需光刻胶、腐蚀液以及额外的复杂设备支持，可以很便的获得所需薄膜微细图形，因此采用化学修饰法与溶胶-凝胶法结合的微细加工法是功能性薄膜高密度集成化有发展前途的工艺之一。 2 薄膜微细图形的制备原理 Gel film Sub strate UV-irr adiati on M ask Gel film Sub str ate Leaching Patterned gel film Heat treatment Patterned inorganic film 图1 微细图形制备工艺流程图 Fig.1 Flow diagram for fine patterning 1 化学修饰法与溶胶-凝胶法相结合的薄膜微细图形制备工艺关键是获得稳定的光敏性溶胶，一般化学修饰剂可采用