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科 学源流 oRlGlN &DEVELOPMENT 品 休 管 诞 生 记 ◎戴吾三 晶体管的发 明是 2O世纪具有划 时代意义的创新事件 。它的诞生 促使 电子产业转型 ,加快 自动化和信 息化 的步伐 ,刷新了世界 的面貌。 晶体管的发 明是经典 的创新故事 ,其 中有战略眼 时 .应该在硅 片表 面出现 电荷层 .而 当时遇 到 的问题是 光和气魄 ,科学智慧和技巧 ,专业分工和合作 ,还有追 没有观 测 到这种 现象 。鉴 于硅元 素在检波 器 中具有 良 求卓越 的信念和不惧失败 的坚韧 。 好 的特性 ,故元素周期表 中正位于硅元素下方 的第 Ⅳ A族稀有元素锗 引起 了科学家 的关注 。1941年 以后 , 晶体 管 的孕 育 对锗元素 的研究加强,美 国科学家积累了丰富的经验 , 晶体 管孕 育并诞生于 贝尔实验室 ,这绝非偶然 。 到 1945年 。硅 晶体 、锗 晶体 的提纯工艺 已成熟 ,并且有 从创新环境看 ,贝尔实验室具备 了所需 的各种条 了很好 的元素掺杂方法 。利用掺杂方法 ,能够得到可控 件 。贝尔 实验室创 建 于 1925年 ,由美 国 电话 电报公 司 制和 可重 复 的电学特性 。 (ATT)电气工程部和西方 电气公司电气工程部合并而 经研 究后 ,巴丁设想改用锗 晶体来检测场 效应 。终 成 。成立之初 ,它就是美 国甚至世 界上规模最大 的工业 于 ,巴丁 、布拉顿在锗 晶体上观测到 肖克利所预 言的场 实验室 ,人数约有 3600人 ,其 中 2000人是技术人 员Ell。 效应 现象 。可 是 ,电子在 锗薄膜 内部 的运 动速 度要 比它 1945年 7月 ,第 二 次世 界 大 战 临近结束 ,时任 贝 们在锗 晶体块 中缓慢许 多 ,这促使 巴丁 、布拉顿及 同事 尔实验室副总裁 的凯利 (M.Kelly)洞察通信技术 的发 再进行深入研究。经过一年多的反复 ,布拉顿 的实验取 展前景 ,亲 自主持各研 究部 门的改组 ,以适应 战后 的研 究方 向调整 。这次改组 中,物理部 门成立 了三个研究小 组 .其 中一个是 固体物理研 究小组 ,由物理学家 肖克利 (W.Shockley)和化学家摩根 (S.Morgan)领 导 ,专 门从 事 固体物理学和 固体化学 的基础研究 。同时 ,肖克利还 负责固体物理组 的一个分组 ,集 中研究半导体 ,其核心 成员有物理学家布拉顿 (W.Brattaln)、皮尔逊 (G. Pearson)和物理化学家吉布尼 (R.Gibney)。不久 ,物理 学家 巴丁 (J。Bardeen)也正式加盟该组 。 根据分工 ,皮尔逊对硅 晶体和锗 晶体 的特性进行测 试 ,观察晶格点阵中掺杂物的分布 ;布拉顿集中研究半 导体表面的一些现象 ,看它们如何受光、电场等影响;肖 克利和 巴丁则负责实验的理论解释 。并及时提出建议。 按照 肖克利 的安排 ,巴丁着手研究 “场效应 ”检验 。 所谓 “场效应 ”。就是当强 电场作用于一个薄薄 的硅片 戴吾三 :教授 ,清华大学深圳研究生院,深圳 518055。 因对半导体的研究和发现晶体管效应而获得 1956 DaiWusan:Professor,GraduateSchoolatShenzhen.TsinghUaUniver— 年诺贝尔物理奖的三位科学家 :肖克利 (左)、巴丁(中) sity,Shenzhen518055. 和布拉顿 VVVWN.kexuemag.com 13

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