MEMS接触式开关的计算机模拟.pdfVIP

MEMS接触式开关的计算机模拟★ 初建朋郭方敏赖宗声 华东师范大学电子系 200062 擅薹，本文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接触式开关的悬梁弯曲和驱动电压的关 系的分析，并介绍了利用有限元分析软件一ANsYs对其电学、力学及其耦台特性的计算机 模拟的过程。 关健词：删S接触式开关，模拟，有限元法 一、舟绍 MEMS器件的设计在尺寸上已经小到了可以用静电力使器件的一部分发生移动或者变 形·这一类MEMS器件包括分布线性受激器、阶跃受激器、弯曲电极受激器、微镜、微马 达等。在这些器件的正常工作状态中含有一个受静电力驱动的部分，有一些还会使其“接 触”到一个固定的表面。对于接触式开关．需要较为精确的知道，在什么电压下．开关会 闭台或打开a如果开关结构具有规则的几何外形和良好的对称性的话，这类问题可以用如 图1所示的简单模型来进行理论分析。 一t 图1、梁受静电力弯曲的简单模型 其中，6为梁弯曲的高度，Fc是施加的力L是粱的长度，d是平行板电容的板间距 z是梁宽-z是梁高。则根据简单的梁理论有： 6JLXEI 其中： ，：堑 【2】 12 则由fl】-【2】，可以得到粱的弹性系数 x：里0 【3】 ·178· 则 F=脚 【4】 而平行板电容间的静电力为 Fc=sVz丢≥ 【5】 其中．A为平行扳面积，d为板间距，V为板问电压。 gIJm[4]、【5】式可得电压和弯曲度的关系为 肚J器cⅢ， 【6】 其关系曲线如图2所示 Deflection(¨面 图2、粱的弯曲和所加电压的关系曲线 从图中可以看出．当梁弯曲到大约间隙的1，3处时．所需加的电压达到最大值(即开启电 压)过了这一点，所需的使梁处于平衡位置的电压开始减小，开关迅速闭合。 但是对于大多数不规则的器件，进行理论分析比较困难．而要想精确的计算器件的性 能还要解决静电场和机械力的耦台问题，则需要利用像有限元法或者边界元法这样的数值 计算技术。 ANSYS是一种功能强大的利用有限元法来求解多种类型物理问题的分析软件。它不像 理问题之间的耦合问题的能力，使我们能够研究他们之间相互影响．使模拟更接近于实际。 在这里．我们利用它对一种接触式开关进行了静电、力学及其耦合的模拟，来分析悬梁的 受力弯曲的过程。 二、模拟过蠢 l、建立模型： 首先对电学分析建立模型。开关衬底上的下电极和悬浮臂上的上电极构成了开关的静 电驱动部分。当下电极接地，上电极加上一个直流电压时．上下电极之间的电压差产生了 一个静电吸引力。上下两电极可近似看作一个平行板电容器，其剖面图如图3所示： ·179· 图3、上下电极的平行板电容近似 模拟中．对图3进行剖分。剖分单元采用适用于静电模拟的SOLIDl22元进行削分。它是 一个3维的具有20个节点的立方体元，有一个电压自由度。它有几种兼容的电压形状可以 适用于各种不规则的结构而不损失计算精度。电压负载分别加在上、下电极的下表面和上 表面。悬梁臂的介电常数设为3．9．空气的介电常数为1。然后将完成的工作存到一个物理 环境文件中．供以后和力学分析耦台时使用。 然后对力学分折建立模型。如图4，建立开关横梁的力学模拟模型。