PZT厚膜工艺在射频天线中运用.pdfVIP

，；t。j—pt z PZT厚膜工艺在射频天线中运用 林州，樊明延‘，任天令．刘理天 t；；·，； 清华大学微电子研究所，北京100084；‘清华大学电子工程系，北京100084 摘要：锆钛酸铅(PZT)作为一种性能优良的铁电材料，在许多领域中都得到应用。本文 um～150u 提出一种制备100 mPZT厚膜的工艺方法，并且在此基础上提出了一种工作于 用了厚膜集成电路中常用的丝网印刷工艺．为了控制天线的频段和损耗，采用了平面光子 带隙(uc—PBG)结构。本设计提出的射频天线具有优良的特性，尺寸比常规同频段的天 线小一个数量级．可望在新一代移动通讯领域得到重要应用。 关键字：锆钛酸铅；射频；丝网印刷：平面光子带隙 中图分类号：TN7l l引言 锆钛酸铅(PZT)这种铁电材料具有很高的介电常数，很好的压电性能。正应为如此， PZT膜在许多的领域都得到了应用。目前PZT薄膜的制备已经比较成熟，人们开始逐步注 意PZT厚膜的制各[艺。PZT膜的制备主要方法有溶胶一凝胶法，溅射，丝网印刷法，流 延法等等。但如果要制各厚膜，例如在100 um以上，可用的方法就不多了。本文提出一 种基于丝喇印刷的PzT厚膜工艺，通过调节参数可以控制PzT厚膜的厚度。在此基础上义 提出了基于此jI：艺的射频天线设计。 天线是所有需要接收和辐射电磁波的无线电技术设备中不可缺少的组成部分。例如广 播、通讯、雷达、电线等设备都离不开天线设备。天线的主体作用是辐射和接收电磁波。 由丁目前通讯的发展，常规的低频频带变得十分拥挤，因此射频频段的通讯越来越得到人 们的重视。 最近几年由于MEMS技术的成熟．在许多领域产生巨大的成功。在天线设计中，最早 是在厘米波天线设计中采用，这些方法与技巧虽然不能完全应用于目前需设计的天线，但 是其中的思想还是可以借鉴的．其中如密歇根大学设计的采用选择刻蚀技术的MEMS天线 ll】。微波传送带型的方块贴片下，硅衬底被腐蚀形成一个空腔，这里采用MEMS的刻蚀技术 、．．， 即是选择刻蚀掉衬底层，从而控制位于方块天线下衬底的介电常数。其介电常数的调节范围 同样在厘米波较高的频段，Ic和MEMS工艺的运用使天线能够批量的制备，而且能 够形成天线阵列。麻省理ir：学院(MIT)在1996年左右研制出了类似的阵列吼采用了基 薄膜上贴附有对称振子。薄膜是了大约1um的Si，N。介电薄膜，其整体工艺过程是十分复