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磁 电式动态微位移标准器的研究 李荐华 陈孝庆 张可英 (四川省技术监督管理研究所 ) {i臣要 研制 了一神磁 电式动态微位移标 衡 准器 ，可提供 0-,．2ooI-~ ．0．Ol一 ±5O m 的动态微位移标准量值 ，还可组成一种新型 测量动态微位移的零位计 的高精度动态微位移测量仪器 。 关键词 ；动态测量 ，微位移 、计量标 准 量法 器 这一方 法是使用 了闭环伺服控制系统 ， 0 引言 用光波干涉条纹 的始终稳定不动 ，作为标准 值始终追踪被测值并达到相对平衡的指示 当代科学拄术发展中，微米1．亚 微 米 这种指零方法 的优点是光 电转换 的响应频率 级的位移动态量值的测量，已成为微 电子技 甚高．完全适应于高精度 动态跟踪指示，关 术、超精加工、空间光学和传感器等领域中 键在于如何能够当微量偏离平衡时，就提取 的关键技术之一 。 出高信 噪比的误 差信 号和判别 出误 差 的 方 动态微位移是随机过程 ．许多在静态或 向．以实现对干涉条纹 的精确锁定 ．高频调 稳态测试中不产生误羞的因素，在随机变量 制法是一种 比较实用 的方法 ．其原理如下 。 的测试中却可能成为重大误差的来源 。因此 图 l是干涉亮条纹附近的光强分布 ，在 为动态微位移测量建立一个标准器 ，灵活地 提供所需要的各种动态微位移标准量值 ，十 I 分必要 。 由于人们对瞬态 电流能够加 以精 确 计 量 、精确台成，又能将 电流通过电磁作用转 换成为动态位移 ，因此有可能利用测量瞬态 电流的图形转换成对动态微位移鼬测量 ，即 用特定图形的瞬态 电流提供特定的位移。要 实现这一 目标有两个先决条件；(1)制定一 种输 出位移与驱动 电流之间有着严格对应关 系的变换器。(2)令变换器输出的位移紧密 追踪被铡位移 ．两者的幅值和相位 完 全 平 图 1 高额振动对干涉条致光强韵调制 · 右5 平衡调整光路的光程上 ，施加一个 频 率 为 粗大误差监测环节，是为了监视在锁定 ∞ 的微小位移正弦振动 ，取∞ l0co，0为 条纹的测量全过程 中，是否出现过意外，发 被测信号的最高频率 ，受高频振动调制 的结 生干涉条纹的整条纹突跳 。如果万一 出现这 果 ，在亮条纹 中心产生一个频率为 2∞ 的 种情况，可 以根据本部份的铡量记录将此粗 光强调制信号 ，如果被测位移量与标准器 的 大误差剔除． 输 出不平衡 ，则条纹 向左右移动 ，都要调制 动态微位移标准器是本系统中最为关键 出一个频率∞ 相同，但相位则与∞ 相 同或 的部件 ，本系统的精度基本上取决于它 的电 相反的光强交流信号 ，相敏雉波后即可取得