基于GaN的半导体紫外光传感器.pdfVIP

基于GaN的半导体紫外光传感器 GaN。based UVPhotosensors Semiconducting 龚海梅1，张燕1，赵德刚2，郭丽伟3，李向阳1 (1．中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室，上海200083； 2．中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京 1000831 3．中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室，北京 100080) 摘要：紫外光传感器在军民两用领域有广泛的应用背景，基于GaN的半导体紫外光传感器以其体积功耗 小、使用方便等优点成为第三代紫外光传感器发展的热点。本文重点介绍了与空间应用有关的紫外光探测， 主要包括美、欧等两方国家在空间天文以及行星、卫星探测等方面的应用情况，并对未来空问应用中极具 发展潜力的GaN基紫外光传感器的特点及其国内外近年来的研究进展进行了介绍。 主题词：紫外光传感器；空间应用；GaN 1．引言 ’ 由于大气层的吸收与散射，紫外光特别是对于波长小于300rim的日盲波段，在大气中的传播受到强烈 的抑制，因此在地球表面的背景紫外光很弱，背景干扰很小，因此紫外探测技术在军事和民用等方面具有 广泛的应用。在军事上如导弹预警、制导、紫外通讯、生化分析等，在民用方面如明火探测、生物医药的 分析、臭氧监测、海上油监、太阳照度监测、公安侦察等，在空问虑用方面如空间环境监测、深空紫外探 测、星一星通讯等。总之，紫外探测技术是继红J,blN激光探测技术之后的又一军民两用光电探测技术Il，2J。 紫外探测技术的关键是研制高灵敏度、低噪声的紫外传感器，一般包括真空紫外器件和固体紫外器件 两大类。目前，已投入商业和军事应用的紫外传感器，主要有紫外光电倍增管类真空器件和紫外增强型硅 光电二极管固体探测器。真空器件的探测灵敏度高，但体积大、工作电压高，小型化应用受到很大限制， 而硅基紫外光电管由于同时具有可见光响应，需要附带滤光片，因而降低了灵敏度。因此，人们开始关注 具有可见光响应极小的本征型宽带隙半导体固体紫外光传感器，其中具有潜力的材料有GaN基材料、ZnO 基材料和其它宽禁带半导体jcWSiC、ZnSe等【3】。 eV之间连续变化， 隙半导体材料，其物理、化学性质稳定，室温禁带宽度随Al组分X的变化在3．4～6．2 对应的波长为200一-,365nm，覆盖了地球上大气臭氧层吸收光谱区(230～280nm)，同时具有体积功耗小、 使用方便等优点，因此是制作太阳盲区紫外传感器的理想材料之一，成为第三代紫外光传感器发展的热点 [5-121。 本文重点介绍了与空问应用有关的紫外光探测，主要包括美、欧等两方国家在空问天文以及行星、卫 作者简介：龚海梅(1965一)，男，研究员，理学博上，主要从事航天遥感红外光电传感器的研制，以及红外、紫外焦平面 等新型探测器组件及其抗辐射机理与可靠性技术研究。 星探测等方面的应用情况，并对具有日盲固有特性、抗辐照能力强、高量子效率和动态范围大等独有优点， 从而在未来空间应用中极具发展潜力的GaN基紫外光传感器的特点，及其国内外近年来的研究进展进行了 介绍。 。 2．紫外探测的空间应用 2．1．紫外天文 空间天文学是在高层大气和大气外层空间区域进行天文观测和研究的一门学科。紫外波段在空间天文 观测上的应用，发展了紫外天文学。紫外观测的主要作用在于通过对外太空紫外辐射的探测，研究有关恒 星大气模型和星际物质等。 · 利用卫星上装载的各种探测仪器进行天文观测，可以避免地球表面大气吸收的限制，特别是对于 x射线观测开始，许多天文卫星上都装有紫外探测仪器，例如：“太阳紫外光度计”、“太阳紫外多普勒照 相机”、“紫外扫描分光光度计”、“紫外光谱仪”、“远紫外太空望远镜”、“戈达德高分辨率紫外摄谱仪”等。 在轨道太阳观测台卫星(OSO)上由于装载了扫描式紫外分光光谱仪，获得空前丰富且空间分辨率极