CORDIC算法在光栅莫尔条纹细分中的应用.pdfVIP

CORDIC算法在光栅莫尔条纹细分中的应用卢少武。等 CORDIC算法在光栅莫尔条纹细分中的应用 ofCORDIC inSubdivisionof Moir6 Application Algorithm Grating Fringe 卢步武 唐J两 马滑庀 邹膊欢 (华中科技大学国家数控系统工程技术研究,Gt，湖北武汉430074) 摘要：目前光栅莫尔条纹细分技术在数控机床、超精加工、精密仪器等领域得到了广泛的应用。考虑到光栅细分系统的精度、速度 和抗干扰能力等多方面指标，提出了一种新的莫尔条纹细分技术，并通过CORDlC算法对不足一个周期的正弦信号进行细分，直接提 取相位信息。光栅细分系统将CORDIC算法应用于FPGA中，能够对莫尔信号进行很好的细分处理，满足高精度的要求，实验结果验 证了其正确性及可行性。 FPCA 关键词：光栅细分精度相位CORDIC 中图分类号：TH712 文献标志码：A Abstract：At of Moir6 subdivisionhasbeen usedin alt6asofCNCmachine finishing- present-thetechnologygrating fringe widely many tool-super the and theindexesin anti-interferencefor new preciseinstmrnents-etC．Consideringaccuracy，印eed，and capabilitysubdividingsystem。atechnique ofsubdivisionof is forsinusoidal thatislessthanone CORDIC isusedto the Moi眄fringeprop鸺ed；and signalsegment cycle-theal剃tllm get phase information is into the canbewell forsub- this subdivision algorithm FPGA，thusMoire面印al processed direcdy．Ingra6ng system，CORDICapplied of divisiontomeet of resulthasverifiedthecorrectn嘲and themethod． requirementhighaccuracy．Theexperimental feasibility Phase FPGA Subdivision CORDIC Keywords：GratingAccuracy 用幅值比细分、相位或频率细分等多种细分的方法。 0引言 根据实际情况，采用按相位的细分方法是一种较为常 光栅是高精度位移测量1=具，光栅的位移测量技 用的方法，即正弦信号整周期部分采用峰值计数其相 术是以光栅相对移动所形成的莫尔条纹信号为基础 位；信号不足整周期部分，则采用CORDIC算法计算其 的，即由于光栅的相对移动，使透射光的光强度呈周期 相位，其基本的数学计算公式就是反正切函数。 性变化。这种光强信号经光电管变为周期性变化的电 CORDIC算法将直角坐标转换为极坐标，将复杂的算 信号(正弦波信号)，对