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260 第一届近代实验空气动力学会议论文集
基于MEMS天平的摩擦应力直接
测量试验技术研究
李建强1，屠恒章2明晓3胡成行1，蒋为民1
(1．中国空气动力研究与发展中心，四川绵阳 621000；
2．北京航空航天大学，北京 100083；3．南京航空航天大学，江苏南京210016)
摘 要：简要介绍了中国空气动力研究与发展中心自行设计研制的梳状结构浮动元件MEMS剪应力天
平、天平静／动态性能校准方法和摩擦应力直接测量技术，给出了MEMS天平测得的平板模型摩擦应力结果，
并进行了简要分析。研究结果表明，所发展的基于MEMS天平的摩擦应力直接测量技术是成功的。
关键词：MEMS天平；摩擦应力；风洞试验技术
ofDirectTest BasedoⅡⅡMEMS
ⅡnVes们ga们oⅡn TechnoIlo圃y
Banance
If0Ⅱ．ghear-StressIⅦeasuⅡ．emeⅡⅡ吐
LI Wei—minl
Jian．qian91，TUHeng—zhan92，MINGxia03，HUCheng—han91，JIANG
(1．China and Sichuan
621000；
AerodynamicsDevelopmentCenter,Mianyang
ofAeronauticsand 100083；
2．BeijingUniversity Astronautics，Beijing
ofAeronauticsand 210016)
3．NanjingUniversity Aetronautics，NanjingJiangsu
Abstract：Adirectmeasurementofshear-stressbasedonMEMSshear-stressbalance
technique
Wasintroducedinthis includedthe MEMS shear-stressbalance
paper．Also pectinatefloating—element
withitscalibration ofstaticand shear-stresstestresultsand
technique dynamicperformance．Partial
brief ofa modelwere
analysisflat—plate presented．
words：MEMS
balance；shear-stress；measurementwindtunnel
Key technique；hi曲speed
了微米级MEMS摩擦应力天平，成功发展了MEMS
0引言
天平静动态性能校准方法和校准装置系统，在国内
复杂流动现象和流动机理的深入研究、边界 高速风洞中初步建立起了基于MEMS天平的摩擦
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