6第六章：实现谐波分离的色分离光栅.docVIP

第六章 实现谐波分离的色分离光栅 从八十年代中期以来，衍射光学(Diffractive Optics)在元件的设计理论、加工工艺方面获得长足发展，衍射光学元件（Diffractive Optical Element）展现出传统光学元件不可比拟的优点,,,。不断开拓衍射光学元件的应用领域，发挥其特有优越性，是目前衍射光学元件发展的重要方向。如何利用衍射光学元件的优点，解决ICF系统中一些长期困扰科学工作者的问题，成为目前研究的热点,。 从第二章分析可知，在光路中尽可能减少光学元件数目可有助于抑制非线性效应对光束质量的影响，这对提高光束质量有现实意义。充分利用衍射光学元件的优点，可取代原复杂的光学元件以实现简化光路排布的目的。 本章首先结合通过对衍射光学元件特点的分析，对目前看来有可能在ICF系统中实用化的衍射光学元件进行介绍。重点研究了其中的一种衍射光学元件－色分离光栅（Color Separation Grating，CSG）实现分光的原理，并进行了相应的实验研究。并对CSG对制作中的深度误差、对准误差的宽容度进行了分析。 基于第四章建立的波前畸变模型，本章对色分离光栅对光束波前畸变的宽容度进行了研究，通过模拟计算，给出了CSG的衍射效率、分波效果与畸变波前的一些规律，为这种衍射光学元件在ICF系统中的应用给出了理论上的指导。 §6.1衍射光学元件在ICF驱动器中的应用 §6.1.1 衍射光学元件概述 衍射光学是基于光的衍射原理，随着计算全息术、相息图以及微电子技术工艺的发展而发展起来新兴光学分支，是光学与微电子交叉形成的有着广泛应用前景的前沿学科。衍射光学元件有以下特点： * 衍射光学元件是一种纯位相型光学元件，故其有极高的衍射效率; * 利用计算机可灵活设计不同的位相函数产生不同波面以满足不同需要，如实现波前校正、整形、分束等; * 衍射光学元件能实现多种功能及多功能集成，同一浮雕结构可同时实现诸如分束、分光、聚焦等功能。能大大简化系统结构，实现传统光学元件难以实现的功能; * 衍射光学元件厚度小，因此强激光经过衍射光学元件时产生的非线性位相延迟小； * 可以大量复制； 目前衍射光学元件的设计理论发展十分成熟。总的来说，其设计理论可归结为位相恢复问题，围绕这一问题，发展了许多衍射光学元件的迭代算法，如G-S算法、杨-顾算法、模拟退火法、遗传算法、全局搜索法等，针对DOE不同的应用，可灵活选择不同算法。 DOE的制作是通过微电子加工工艺的光刻技术，将设计的掩模图案转移到光刻胶上，再将光刻胶上的图案转移到基片上，并经一次套刻或多次套刻，最终在基片上形成微小浮雕结构。其中每次光刻过程包括甩胶、对位曝光、显影、刻蚀、去胶的等工艺过程，其中关键有曝光技术和刻蚀技术。ICF驱动器中光学元件具有大口径的特点，如NIF中光学元件口径达到40cm(40cm，原型装置TIL 元件的通光口径也达26cm(26cm。目前常用的干法刻蚀设备无法满足这一要求，而且采用干法刻蚀技术会在DOE表面浮雕结构引入高频噪声，湿法蚀刻设备简单，由于湿法蚀刻是各向同性的，故有严重的钻蚀效应，不能满足图形微细化的要求。无法制作纵宽比较大的DOE。为实现DOE在ICF系统中的应用，大口径DOE的加工工艺的突破是一关键。在这方面，美国和法国处在领先位置，为实现 LMJ终端光学系统两块光栅的制作，法国在1998年建成制作口径为450mm(450mm刻蚀设备，美国亦建成专门的衍射光学元件制作实验室，这个面积为2400平方英尺的实验室在1998年1月开始运转，并在1998年完成了三种全尺寸衍射光学元件的制作。 §6.1.2 终端聚焦光学系统中的三种衍射光学元件 从目前的研究来看，衍射光学元件在ICF系统中的应用主要集中在终端光学系统中（见图6-1）。主要实现以下三种功能： 图6-1 ICF驱动器终端光学系统中的衍射光学元件 * 光束能量采样 为了实现每次打靶时对能量的测量，在光束经过终端聚焦透镜后的一适当位置插入一能量采样光栅，该光栅能够在不改变原光束传播的方向的条件下，以一极低的衍射效率（约0.2%左右，可通过对光栅结构参数的优化实现对衍射效率的控制）和相对于原光束传播方向偏转一定角度（约15o左右，可根据光路结构进行优化选择）从主光束中取出部分能量，并将这部分能量聚焦到能量卡计的探测面上，从而实现能量的测量。 采样光栅是一种变周期光栅，其周期在2(m之间变化，台阶的深度约20nm左右。通过调整光栅周期和台阶深度，可获得不同衍射效率、分离角度以及采样长度的采样光栅。 采用全息制作方法，我们实际制作了这种元件，并在模拟实验平台上进行了初步的实验研究。实验光路图见图6-2，采样光斑和原主光束图样见图6-3。采样光栅取样长度为900mm，取样角9.6o，口径